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六氟化硫:新一代光刻膠刻蝕劑
六氟化硫是一種高效的光刻膠刻蝕劑,廣泛用于微電子、光電子等領(lǐng)域。其在大氣壓下具有較強(qiáng)的化學(xué)惰性和氧化力,通過(guò)與光刻膠中的聚合物鏈發(fā)生氟化反應(yīng)實(shí)現(xiàn)蝕刻。在使用六氟化硫時(shí),需注意操作安全,避免與水蒸氣接觸,以確保生產(chǎn)過(guò)程安全和高效。更多 +
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特種氣體在蝕刻中的應(yīng)用
刻蝕分為濕法蝕刻和干法蝕刻。???硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。???蝕刻氣體氣體工業(yè)名詞,蝕刻就是把基片上無(wú)光刻膠掩蔽的加工表…更多 +
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什么是電子化學(xué)品
電子工業(yè)是一個(gè)在過(guò)去30年代迅速發(fā)展的高科技產(chǎn)業(yè)。以計(jì)算機(jī)和超大集成電路為核心的電子工業(yè)的發(fā)展水平已成為衡量一個(gè)國(guó)家科技水平的重要標(biāo)志。什么是電子化學(xué)品?安徽高純氬制造商的專家指出,電子化學(xué)品是支持電子工業(yè)的特殊化學(xué)品。電子工業(yè)的發(fā)展依賴于電子化學(xué)品和電子化學(xué)材料的發(fā)展。 電子化學(xué)品品種多,場(chǎng)地少,質(zhì)量要求高,環(huán)保審批要求嚴(yán)格,產(chǎn)品升級(jí)等待點(diǎn)快。目前,支持電子行業(yè)的化學(xué)品包括超凈和高純度試劑、特殊氣體、光刻膠、塑料包裝材料、研磨和拋光材料和材料,用于印制電路板制造(干膠耐腐蝕、清潔、化學(xué)品船、電鍍液及更多 +
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半導(dǎo)體中的第二大材料電子特氣是什么?
在芯片制造過(guò)程中,不僅需要光刻機(jī)、蝕刻機(jī)、光刻膠、硅片等核心設(shè)備或材料,還需要工業(yè)中一種稱為電子氣的特殊氣體。更多 +
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光刻機(jī)中你不知道的化學(xué)知識(shí)
許多化學(xué)和化學(xué)工程專業(yè)的學(xué)生經(jīng)常覺得自己選錯(cuò)了專業(yè)。事實(shí)上,化學(xué)和化學(xué)工程的知識(shí)非常廣泛。請(qǐng)不要沮喪。讓我們談?wù)劰饪绦g(shù)對(duì)化學(xué)原理的依賴性。光刻技術(shù)利用光子能量在晶圓表面“雕刻”光刻膠,將掩模圖像傳輸?shù)骄A表面。顧名思義,光的使用是光刻技術(shù)的核心,因此可能存在誤解。光刻是一種物理上占主導(dǎo)地位的工藝,但化學(xué)原理在光刻工藝中起著至關(guān)重要的作用。 1. 光化學(xué)反應(yīng) 光化學(xué)反應(yīng)是光刻工藝的基本原理。所謂光化學(xué)反應(yīng)是利用光子能量作為活化劑產(chǎn)生自由基,然后通過(guò)一系列更多 +
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一周翻了5倍的稀有氣體——氖氣
氖氣(Ne),制造芯片的關(guān)鍵性材料,怎么個(gè)關(guān)鍵? 沒有光刻機(jī),做不出芯片。 沒有光刻氣,光刻機(jī)就是個(gè)模型。 氖氣,占光刻氣這種激光氣體混合物的96%以上。 氖氬氟等稀有氣體經(jīng)高壓受激發(fā)后形成等離子體,在這個(gè)過(guò)程中,由于電子躍遷,會(huì)產(chǎn)生固定波長(zhǎng)的光線,形成了剔除光刻膠的刀片。 除此之外,還有兩個(gè)好兄弟,氪氣(同樣用于光刻制程),氙氣(用于半導(dǎo)體刻蝕制程)。 一周內(nèi),氪氣漲幅約30%,目前主流價(jià)格在38000-42000元/方。氙氣漲幅約40%,主流價(jià)格在42萬(wàn)—45萬(wàn)/方。更多 +
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存儲(chǔ)芯片需求增長(zhǎng),2025年電子級(jí)稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時(shí)代的飛速發(fā)展中,海量數(shù)據(jù)的處理不僅對(duì)于芯片算力提出越來(lái)越高的要求,不斷累積的數(shù)據(jù)也需要更大、更快、延時(shí)更低的存儲(chǔ)介質(zhì)。電子工業(yè)中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲(chǔ)器高深寬比刻蝕工藝,從而實(shí)現(xiàn)多層堆疊結(jié)構(gòu)。預(yù)計(jì)2025年全球電子級(jí)稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML,較2020年增長(zhǎng)29%。 激光氣體主要用于電子工業(yè)中激光退火和光刻氣。光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造的核心設(shè)備,光刻定義了晶體管尺寸,光刻產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同發(fā)展是光刻機(jī)突破關(guān)鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導(dǎo)體更多 +
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