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甲烷-13C同位素氣體在半導(dǎo)體研究中的重要應(yīng)用
甲烷-13C同位素氣體在半導(dǎo)體研究、軍事、照明、基礎(chǔ)物理研究等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用價值。作為碳源和氫源，甲烷-13C可用于制備碳化物薄膜和氫化物膜，具有導(dǎo)熱性高、硬度高、化學(xué)穩(wěn)定性好等優(yōu)點。更多 +
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