由于氣體分為簡單氣體、多組分氣體、混合氣體和有機化合物氣體，構成氣體的物質（或元素）可稱為氣體組分。因此，氣體純度的含義可以理解為除氣體成分外還包含許多其他物質。例如，氮的純度是指除N組分外，O2、H2、Ar、CO2、H2O、金屬和灰塵顆粒等雜質的量；氨的純度是指除NH3外，O2、N2、CO2、H2O和灰塵顆粒等雜質的量；另一個例子是氮氣和氦氣的混合物，它指的是N2和He組分旁邊的雜質量，如O2、CO2、H2O塵埃顆粒。
參考氣體純度的方法有很多，如普通清潔氣體、高純度氣體、電子清潔氣體、超純氣體
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