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半導體行業的氣體秘密:外延生長與成膜技術
半導體工業中,外延氣體、化學氣相積累氣體、混合氣體以及蝕刻氣體各自承擔著不同的角色,決定著材料的生長、導電性以及表面處理的精密度。在制造過程中,這些氣體的選擇與應用至關重要,不僅影響最終產品的性能,還關系到整體工藝的效率。通過深入了解這些混合氣體,可以更好地掌握半導體制造的核心技術。
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電子氣體是什么?
電子氣體
是指用于半導體及其他電子產品生產的氣體,與傳統的工業氣體相比,電子氣體特殊,在氣體的純凈度要求極高,所以也被稱為電子特種氣體,廣泛應用于集成電路顯示面板、光伏能源、光纖光纜、新能源汽車、環保醫療等領域。 國內特種氣體于20世紀80年代隨著國內電子行業的興起而逐步發展,隨著技術的逐步突破,國內氣體公司在電光源、氣體、激光氣體、消毒氣體等領域發展迅速,但與國外氣體公司相比,大部分國內氣體公司的供應產品仍然較為單一。尤其是在集成電路顯示面板、光伏能
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