氦質譜檢漏儀用高純氦氣作示漏氣體，以氣體分析儀檢測氦氣而進行檢漏的質譜儀。是一種應用于國內外的真空容器檢漏先進技術。與一般的檢漏技術相比，氦質譜檢漏技術快速、準確、靈敏度高及無損傷性等優點。氦質譜檢漏儀的示蹤氣體也可以是其他元素。但通常選用氦氣，因為氦氣具有以下特性：

1、氦氣在空氣中的含量極少，只占約二十萬分之一，易于發現；

2、氦分子小、質量輕、易擴散、比其它氣體易穿越漏孔；

3、氦離子荷質比小，易于進行質譜分析；

4、氦氣是無毒、無味，對大氣無污染。

5、氦氣是惰性氣體，化學性質穩定，不會腐蝕和損傷設備；

6、氦氣無毒，不凝結，極難容于水。

正因為氦氣具有以上特性，所以氦氣檢漏應用已從科研院所到工業企業乃至到個體企業，可以說應用領域極其寬廣。