高純氣體的常見雜質有哪些?
常規雜質:H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O 特殊雜質:顆粒物、油份、金屬離子、同位素物質污染、亞穩態物質污染
雜質來源:原料污染、生產工藝副產物、工藝失效污染、過程污染
環境帶入:空氣組分(O2, N2, Ar, CO2), 水分
生產裝置,管路,充裝裝置帶入:水分,金屬元素,顆粒物,油份 生產工藝富集 包裝污染 殘氣污染 包裝本身帶入污染:水分,金屬元素,顆粒物 分解聚合污染