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: 標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體準(zhǔn)確性與氣瓶有很大的關(guān)系

標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體準(zhǔn)確性與氣瓶有很大的關(guān)系，對(duì)于盛裝電子混合氣體的氣瓶，內(nèi)表面決不能采用高分子材料處理。根據(jù)研究驗(yàn)證，無(wú)論何種高分子材料，都有一定量的有機(jī)物釋放，這些碳?xì)浠鲜荌C制造“有害”雜質(zhì)尤其是在夏季，釋放會(huì)加劇。由此可見(jiàn)要保證標(biāo)準(zhǔn)氣體、混合氣體準(zhǔn)確性和長(zhǎng)期的穩(wěn)定，盛裝氣瓶將要進(jìn)一步的細(xì)致處理。
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: 關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體準(zhǔn)度的問(wèn)題

無(wú)論是計(jì)量用的標(biāo)準(zhǔn)氣體還是電子混合氣體，準(zhǔn)確性是第一要素。如何確保氣體準(zhǔn)確、穩(wěn)定，是我們迫切需要關(guān)注和解決的問(wèn)題。因?yàn)闅馄繌S只能依賴于標(biāo)氣公司做配氣、分析等效果考察工作，或許Cl2 10 x 10-6-N2 處理接果不錯(cuò)，而Cl2 5 ×10 6_N2 就不滿意了，所以，此項(xiàng)工作類似于雜交水稻的培育，需要長(zhǎng)期不間斷地考察研究，最好是多部門的聯(lián)合攻關(guān)作戰(zhàn)。若沒(méi)有國(guó)家的資金支持，目前的背景下，完成此項(xiàng)意義重大、經(jīng)濟(jì)效益不突出的研究，真的有存在的可能性？可見(jiàn)氣瓶的穩(wěn)定性問(wèn)題將長(zhǎng)期困擾中國(guó)氣體的進(jìn)步
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: 關(guān)于標(biāo)準(zhǔn)氣體和混合氣體準(zhǔn)度的問(wèn)題

無(wú)論是計(jì)量用的標(biāo)準(zhǔn)氣體還是電子混合氣體，準(zhǔn)確性是第一要素。如何確保標(biāo)準(zhǔn)氣體準(zhǔn)確、穩(wěn)定，是我們迫切需要關(guān)注和解決的問(wèn)題。因?yàn)闅馄繌S只能依賴于標(biāo)氣公司做配氣、分析等效果考察工作，或許Cl2 10 x 10-6-N2 處理接果不錯(cuò)，而Cl2 5 ×10 6_N2 就不滿意了，所以，此項(xiàng)工作類假于雜交水搖的培育，需要長(zhǎng)期不間斷的考察研究，最好是多部門的聯(lián)合攻關(guān)作戰(zhàn)。若沒(méi)有國(guó)家的資金支持，目前的背景下，完成此項(xiàng)意義重大、經(jīng)濟(jì)效益不突出的研究，真的有存在的可能性？
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: 混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體的不同

電子混合氣體和計(jì)量學(xué)上的標(biāo)準(zhǔn)氣體有許多相似的特點(diǎn)，但又有許多不同，電子混合氣體除了要保證其配制濃度的高精度外，更需要?dú)怏w具有優(yōu)良的品質(zhì)，換言之，電子混合氣體必須要確保混合好的氣體中含有的有害雜質(zhì)不能高于某值。在8in以上的IC生產(chǎn)線，也應(yīng)對(duì)混合氣體中含有的顆粒物進(jìn)行控制和定值。 1、電子混合氣體的氣瓶處理同其他氣體不同，對(duì)盛裝電子混合氣體的氣瓶的要求十分嚴(yán)格，否則，即便是混合氣體配制的準(zhǔn)確度再高，穩(wěn)定性再好也無(wú)
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: 常見(jiàn)的電子混合氣體組分|紐瑞德特氣

電子工業(yè)用氣體統(tǒng)稱為電子氣。在大規(guī)模集成電路（LSI）、超大規(guī)模集成電路（VLSI）、半導(dǎo)體和電子器件生產(chǎn)與加工過(guò)程中，電子氣主要用于氣相外延生長(zhǎng)、化學(xué)氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴(kuò)散）、蝕刻、離子注入、濺射、退火、系統(tǒng)加壓、潔凈吹掃、吸氣覆蓋、氧化和還原等工藝。其中部分氣體直接作為半導(dǎo)體源，如硅源、硼源、磷源和CVD 源等等。常見(jiàn)的幾種電子混合氣體： Oxygen in Tetrafluoromethane 4% O2/CF4 8% O2/CF4 1
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: 常見(jiàn)的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣

氣體在半導(dǎo)體工業(yè)和微電子工業(yè)中扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，還有一個(gè)重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規(guī)模集成電路（L.S.I）超大規(guī)模集成電路（V.L.S.I）和半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，主要用于氣相外延（生成）、化學(xué)氣相淀積、摻雜（雜質(zhì)擴(kuò)散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。根據(jù)不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長(zhǎng)氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴(kuò)散氣、化學(xué)氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊
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: 電子混合氣體是什么？有哪些？|紐瑞德特氣

隨著我國(guó)工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，我們對(duì)特種氣體的需求量不斷增加。特種氣體有別于一般工業(yè)氣體，它是具有特殊用途，并在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)純度、雜質(zhì)含量、組成、物化性能等方面有特殊要求的一類氣體產(chǎn)品。與工業(yè)氣體相比，特種氣體的品種多而產(chǎn)銷量小，常用的混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)校正氣即特種氣體的重要組成部分。電子混合氣是常用的混合氣體之一，指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過(guò)規(guī)定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質(zhì)。混合氣體通常被當(dāng)作理想氣體研究。
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: 我國(guó)電子特氣行業(yè)發(fā)展的新形式

談電子特氣產(chǎn)品發(fā)展形勢(shì)之前，必須先學(xué)習(xí)氣體生產(chǎn)安全性。隨著我國(guó)各種氣體產(chǎn)能的增加，氣體的安全顯得尤為必要。目前國(guó)家的相關(guān)法律、法規(guī)對(duì)電子氣體特氣的安全管理缺乏針對(duì)性，有的還存在盲區(qū)。我國(guó)應(yīng)該努力向國(guó)外先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)看齊，制定適合我國(guó)實(shí)際特點(diǎn)的各種規(guī)定，確保電子特氣生產(chǎn)、經(jīng)營(yíng)、貯存、運(yùn)輸、使用等諸多環(huán)節(jié)的安全。此什么叫電子混合氣體？電子混合氣是電子氣體重要的組成部分。同超純電子特氣相比，電子混合氣體種類因混合氣體的組成、組分的濃度、氣瓶體積、材質(zhì)不同而異常復(fù)雜，組分使用濃度的范圍較寬，從10
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