隨著我國工業(yè)技術(shù)的不斷發(fā)展，我們對特種氣體的需求量不斷增加。特種氣體有別于一般工業(yè)氣體，它是具有特殊用途，并在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對純度、雜質(zhì)含量、組成、物化性能等方面有特殊要求的一類氣體產(chǎn)品。與工業(yè)氣體相比，特種氣體的品種多而產(chǎn)銷量小，常用的混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)校正氣即特種氣體的重要組成部分。
電子混合氣是常用的混合氣體之一，指含有兩種或兩種以上有效組份，或雖屬非有效組份但其含量超過規(guī)定限量的氣體。由幾種氣體組成的混合物，是工程上常用的工質(zhì)。混合氣體通常被當(dāng)作理想氣體研究。
電子混合氣體包括：外延混合氣、化學(xué)氣相淀積混合氣、摻雜混合氣、蝕刻混合氣及其他電子混合氣。
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