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我的中國“芯”——哪些電子特氣參與芯片制造
在芯片制造過程中，電子特氣扮演著重要角色。包括光刻、刻蝕、離子注入等步驟，都需要使用各種類型的電子特氣。硅片刻蝕氣體主要指氟基氣體，摻雜工藝所用的氣體稱為摻雜氣體，如砷烷、磷烷等。更多 +
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這些行業即將迎來“電子特氣革命
這些行業即將迎來“電子特氣革命，電子特氣是工業氣體的一種，規模相對不大但是對純度、混配精度要求極高的一種高毛利率產品，從全球電子特氣的下游分布數據來看，集成電路（71%）、顯示面板（18%）、LED（8%）、光伏（3%）；從中國地區的分布來看，集成電路（42%）、顯示面板（37%）、光伏（13%）、LED（8%）。我國集成電路與全球實力對比存在一定差距，未來或將是拉動國內電子特氣需求的主要動力。更多 +
