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氧氣/氮氣流量對摻氮氧化鋅特性影響實驗

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2014-08-21 08:34:00【

  氮氣幾乎為惰性的雙原子氣體,化學性質極不活潑,氣體分子比氧分子大,不易熱漲冷縮,變形幅度小。氮氣主要用途有:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保 護介質,速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑,電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等,還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。今天就為大家介紹一下氮氣流量對摻氮氧化鋅特性影響實驗。

 

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  實驗使用反應式離子束濺鍍法沉積摻氮氧化鋅薄膜,采用陽極層離子源,以鋅為靶材,同時通入氬氣、氧氣及氮氣,探討氧/氮流量對摻氮氧氧化鋅薄膜的特性影 響。實驗結果顯示在氧流量0.5~4.0sccm,氮流量0.5~2.0sccm300°C下所沉積之氧化鋅薄膜皆具有ZnO(002)面擇優成長特性。未摻氮之氧化鋅薄膜皆呈現壓縮應力,摻入氮后(002)繞射峰值往小角度偏移且半高寬增加,顯示c軸常數增加及晶粒減小。拉曼光譜分析未摻雜之氧化鋅得到氧化鋅E2(high)436cm-1及A1(LO)580cm-1震盪模式,摻氮后得到275cm-1、580cm-1及640cm-1的摻氮氧化鋅的局部震盪模式,代表氮已摻入氧化鋅薄膜中。霍爾量測顯示氧氣流量為1.0sccm時所沉積之摻氮氧化鋅在氮氣流量大于1.0sccm時可得電洞濃度1015~1017cm-3之p型氧化鋅。

 

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