不同工作物質的氣體激光器介紹

氣體激光器廣泛應用于許多科學領域，其特點之一是其工作物質是混合物或單一純氣體。

這些氣體在激光器中的相互作用和刺激過程直接影響激光器的性能。其中，氣體的純度對

激光輸出功率和穩定性有至關重要的影響。


在激光混合氣體中，各成分氣體的純度必須達到一定的標準，因為成分氣體中的氧、水、

碳氫化合物等雜質會直接消耗激光輸出功率，導致鏡子（表面）和電極上的能量損失。這

些雜質的存在也會導致激光發射的不穩定性，對激光器的性能產生很大的負面影響。因此，

對激光混合氣體成分的純度有嚴格的要求，這也是氣體激光器的一個重要特點。


此外，混合氣瓶必須在充裝前干燥，以確保混合氣體的純度，防止污染。這種干燥處理是

確保氣體激光器性能和穩定性的關鍵步驟之一。


根據氣體工作物質的不同，氣體激光器大致可以分為幾代。第一代是氦。（He）氖（Ne）

以激光為代表的激光器是最早開發的氣體激光器之一。第二代是二氧化碳激光器，其工作

物質是二氧化碳氣體。第三代激光器是氟化氪，將廣泛應用于半導體制造領域（KrF）激

光，這種激光器具有更高的輸出功率和更廣闊的應用前景。


綜上所述，氣體激光器的特性和性能與其工作物質密切相關。為了獲得高性能和穩定性的

氣體激光器，必須嚴格控制混合物的純度和鋼瓶的干燥處理。同時，根據不同應用領域的

需要，選擇合適的工作物質也非常重要。