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電子硅烷氣體與半導體行業的不解之緣

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2024-02-29 10:14:27【
電子硅烷氣體與半導體行業的不解之緣

硅烷2

首先,我們說的電子級硅烷氣是什么?

電子硅烷氣是一種特殊的電子氣體,主要由硅粉、氫氣、四氯化硅、催化劑等反應蒸餾凈化而成。

純度超過6N的稱為電子級硅烷氣。

電子硅烷氣體與半導體行業的不解之緣

電子級硅烷氣主要用于半導體行業,那么它在這個應用中起到了什么作用呢?

電子硅烷氣是一種不可替代的特殊氣體,主要用于生產顆粒單晶硅、多晶硅、半導體、光伏、顯示面板等

領域。


電子硅烷氣主要用于半導體中的化學氣相沉積,主要用于半導體、集成電路等的生產。

電子硅烷氣在集成電路制造中起著關鍵作用,特別是在半導體薄膜沉積中,是形成薄膜的主要原料之一。

在芯片制造過程中,需要使用各種電子特性氣體,包括硅烷、PH3等摻雜氣體、CF4等蝕刻氣體、WF6等

金屬氣相沉積氣體等反應氣體和清洗氣體。


這些特殊氣體廣泛應用于硅片制造、氧化、光刻、氣相沉積、蝕刻、離子注射等核心工藝。

在光伏產業中,電子硅烷氣作用于光伏電池生產減反射膜,對光伏電池的光吸收效率和電性能有重大影響。

集成電路中硅烷氣的市場情況如何?

2020年,中國集成電路市場規模持續上升,達到1445億美元。

但事實上,2020年,中國生產了230億美元的集成電路產品,國內對集成電路的需求依然依賴進口,未來還

有很大的改進空間。


得益于集成電路產業的發展,電子級硅烷氣的應用需求不斷上升,產業發展前景良好。

我國硅烷所代表的特種氣體市場情況如何?

在全球范圍內,超過70%的電子特氣應用于集成電路領域,而在中國,這一比例為42%。

雖然目前我國集成電路本地化進程仍面臨諸多挑戰,但隨著市場需求的不斷增長和技術實力的提高,電子硅

烷氣在該領域的應用有望繼續增長。


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