高純六氟化硫具有良好的電氣絕緣性能及優異的滅弧性能。采礦工業用作時六氟化硫可用作反吸附劑，用于礦井煤塵可以置換氧。
作為重要的溫室效應氣體之一的高純六氟化硫，主要用于電子制造業、電氣設備、金屬熔煉以及大氣示蹤之上。作為六氟化硫的重要消耗產業，為了符合環保要求通過研究技術改進，電子制造業和大氣示蹤已基本停止對
六氟化硫氣體的使用。
高純
六氟化硫還因化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性，被廣泛用于金屬冶煉、航空航天、醫療(X光機、激光機)、氣象(示蹤分析)、化工(***汽車輪胎、新型滅火器)等。金屬熔煉方面，通過混合氣體使用已經大幅降低了高純六氟化硫的用量，并且還在不斷改進之中。
如今，國內對
六氟化硫氣體的環保關注的聲音逐漸增加，作為消耗量較大的電氣設備方面，電氣設備本身還在不斷的拓展六氟化硫設備的新技術應用。
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