因其化學惰性、無毒、不燃及無腐蝕性,高純六氟化硫被廣泛應用于金屬冶煉、航空航天、醫療(X光機、
激光機)、氣象(示蹤分析)、化工(汽車輪胎、新型滅火器)等領域。
高純六氟化硫多用于高中壓電力設備,隨著科技發展,SF6涉及領域不斷擴展,被越來越廣泛地使用于
基礎和科技領域。