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高純氣體 - 高純氫中微量烴污染的分析

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2022-09-21 14:45:00【

 高純氫氣廣泛應用于電子工業、石油化工、金屬冶煉、國防、科研等部門,也可用作制備標準氣的原料氣和色譜用載氣。隨著科學技術的快速發展,科學實驗和工業產品的生產,特別是一些高科技產品,如超大集成電路和光電子產品,要求嚴格控制氫純度和雜質含量,并要求凈化O2、H2O、,HTC(總烴)、CO、CO2等雜質至10-9-10-12;在有色金屬的熔煉和加工中,硅鋼、帶鋼、精密合金和浮法玻璃的生產需要純度為99.999%的氫氣;在天然氣工業中,氣體分析和氣體精煉需要純氫。目前,工業生產的大部分工業氫應進行凈化,以滿足生活各個領域的需要。氫氣凈化方法主要有化學吸收法、催化反應法、選擇性吸附法和膜分離法。

1、總烴測定原理及定量方法

在分析和檢測氣相色譜時,氣相色譜對所用氣體的純度有很高的要求。為了滿足工作要求和延長設備使用壽命,所用氣體的純度應滿足或略高于儀器本身對氣體純度的要求;否則,如果使用不合格的低純度氣體,會造成一些負面影響。此外,在硅外延中,氫與加熱硅襯底表面上的四氯化硅或三氯氫硅反應,以還原硅并將其沉積在硅襯底上,從而形成外延層。在上述工藝中,氫的純度要求很高。如果存在太多碳氫化合物,就會產生碳化硅,導致外延層中出現星形缺陷。因此,有必要監測高純度氫中的整個碳氫化合物。

1.方法和原則

中國國家標準推薦的氣體中總氫的測定方法是目前大多數實驗室采用的氫火焰電離法。這種方法的工作原理是:樣品進入電離室后,在氫火焰的高溫下電離產生陽離子。由于離子的數量與被測成分的含量成正比,因此可以確定其含量。工作站(或記錄器)記錄相應成分的色譜峰。

2.定量方法

火焰離子化檢測器上總烴的響應信號是不同信號的總和。迄今為止,除了食品級二氧化碳的國家標準規定總碳氫化合物是從甲烷中計算出來的外,沒有一個單一的標準來量化其他氣體中的總碳氫化合物。這里,甲烷也被用作參考材料,分析結果是用甲烷計算的。

氫是一種可燃壓縮氣體。儲存在涼爽通風的倉庫中。倉庫內溫度不得超過30℃。遠離火種和熱源。避免陽光直射。必須與氧氣、壓縮空氣、鹵素(氟、氯、溴)、氧化劑等分離。存儲儲藏室的照明、通風等設備應為防爆型,開關應在儲藏區外調整,并配備適當類型和數量的滅火器。禁止使用易產生火花的機械裝置和工具。驗收時,注意產品名稱、瓶子檢驗日期和倉庫中使用的第一。小心搬運,以免損壞氣瓶和附件。