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高純氣體管道氦氣檢漏方法

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2022-09-23 16:02:00【

 1.高純度散裝氣體管道氦氣檢漏方法應采用向內檢漏法、閥座檢漏法和向外檢漏法。

2.向內檢漏法(氦氣注入法)是通過內部吸入高純度氣體管線,外部噴射氦氣來進行的。

3.檢測閥座泄漏的方法必須在閥門前充入氦氣,并在下游抽真空。

4.必須使用朝外檢漏法(吸槍法)在高純度氣體管線內填充氦氣或氦氮混合物,并使用外部吸槍檢查可能的泄漏點。

5.氦檢漏儀必須是質譜氦檢漏器,檢測精度不低于1

6.高純氣體氦氣檢漏的泄漏率應符合下列要求:

6.1通過向內泄漏檢測方法測得的泄漏率不得超過1.10-9 mbar l/s;

6.2閥座泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s;

6.3向外泄漏檢測法測得的泄漏率不得超過1.10-6mbar l/s

7.氦檢漏發現的泄漏點修復后,必須重新進行氣密性試驗,合格后,再按規定進行氦檢漏。

8.所有可能的泄漏應使用塑料袋進行隔熱。

9.系統測試后,用高純度氮氣或氬氣填充和清潔。

10.檢查后,應提交試驗報告。