高純氣體工藝系統目前主要用于泛半導體產業(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業。
高純氣體工藝系統的好壞會直接影響先進制造行業中工藝設備的運行及投產后的成品率。一個優秀的高純氣體工藝系統設
企業如沃飛,能通過控制高純氣體的純度,實現其制程精度要求,保障并提升產品良率。
1、在泛半導體產業中高純氣體工藝系統的運用
高純度的特種氣體參與泛半導體行業集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環節。
2、高純氣體工藝系統在光纖行業生產工藝流程中的應用
光纖產業鏈分為光纖預制棒制造、光纖拉絲和成纜三個環節,其中光纖預制棒制造是光纖制造技術的核心,其利潤占整個光纖產業鏈利潤總額的70%。光纖技術的每次進步都離不開光纖預制棒制造技術的相應發展。
在光纖預制棒制造工藝中,高純氣體工藝系統能將高純特氣、高純大宗氣體提純原料輸送到光纖預制棒制造過程中的芯棒制造、芯棒表面處理、外包層制造等核心工藝環節,從而精確控制光纖預制棒制造過程中的純度,達到工藝精度要求并確保產品良率。
以上,是高純氣體工藝系統在泛半導體行業和光纖行業中的應用介紹和高純工藝系統在這些行業中起到的重要作用