規范高純空氣制取與質量控制的國家標準

一、高純空氣簡介
高純空氣是指純度高于99.99%（體積分數），不含任何雜質和微量元素的氣體。廣泛應用于工業

生產、生命科學、半導體制造等領域，是許多高新技術產業的重要原料。高純空氣一般通過空氣

中的氮、氧、氬的分離獲得，生產過程需要嚴格的控制和質量保證措施。

二、高純空氣國家標準執行標準
為了規范高純空氣的生產和質量控制，中國有關部門制定了相應的國家標準。其中，GB/T 14687

-2011《超高純氣體制備規范》是超高純氣體制備的規范性文件，主要包括制氣壓力、制氣設備、

制氣管道、制氣材料、制氣過程控制和制氣質量檢測；GB/T 20378-2018年《高純氣體制備質量控

制標準》是高純氣體制備過程中的質量控制標準，包括氣體純度、雜質含量、含水量、微量元素含

量等方面的要求。

三、高純空氣國標的應用
高純空氣應用廣泛，主要包括以下幾個方面：

1. 生命科學領域：高純氧是許多醫院和實驗室不可缺少的氣體，用于提供呼吸支持、手術麻醉、生

物產品培養等。

2. 電子、半導體領域：半導體制造過程中使用高純氮氣、氬氣等保護氣體，可有效減少雜質對芯片

的影響，提高芯片質量。

3. 工業生產領域：高純氧氣、氮氣等用于各種工業生產中的氣體保護、氣體氛圍控制、氣體溶解等

方面。

4. 環保領域：高純氧、氫等可用于環保處理中的氧化還原反應、催化反應等方面。

四、總結
高純空氣是許多高科技領域的重要原材料。國家有關部門制定了相應的國家標準，規范了高純氣體

的生產和質量控制。隨著高新技術產業的不斷發展，高純空氣的應用領域將越來越廣泛，其國家標

準的實施將更加重要。