今日,國內硅烷氣項目建設有了新的進展。目前,年產3000噸硅烷氣項目二期工程已與6月25號試車投產,運行平穩且達產達標,產品純度已達99.999999%,主要經濟指標接近或達到國外同類產品指標要求。
該項目的建成達產標志著我國高純度硅烷大規模生產技術獲得突破,結束了國內高純度硅烷產品全部依靠進口的歷史。
該項目采用硅烷法實現高純度硅烷氣的工業化生產,解決了國外鎂硅法、氟硅法等傳統硅烷氣技術難以大規模生產以及成本高、排放大等難題,生產成本較國際同類產品低30%以上。
從2014年10月,一期工程年產600噸硅烷氣的生產線成功投產,硅烷氣純度達8N級,隨后,二期工程年產3000噸硅烷氣項目與2016年7月開工建設,下一步將建設三期工程年產1.5萬噸高純硅烷氣。