氦氣是理想的泄漏檢測氣體
首先,因為氦的最外層電子是2,而氦只有一層電子,第一層電子是2。這意味著已經達到了穩定的結構。因此,
氦氣的化學性質相對穩定,不容易反應、爆炸等。在一些更有價值的設備中,如飛機、航天器等,我更喜歡使用氦氣作為泄漏檢測氣體。然而,氦在自然界中的儲量較少,成本較高。因此,為了節省成本,一些公司還選擇氫氣和氮氣的混合物作為檢漏氣體,或者直接選擇氮氣作為檢漏氣體。
氦泄漏檢測在半導體中的作用
為了防止半導體器件、集成電路和其他部件的表面性能因水蒸氣等雜質而惡化,有必要使用外殼密封。然而,由于各種原因,在管和外殼或探針的連接處通常會有肉眼難以識別的小孔。因此,在封裝部件之后,需要一些方法來檢測這些小孔的存在或不存在。氦泄漏檢測包括使用氦來檢查電子元件封裝管殼中的小孔。由于氦原子的體積很小,它們很容易穿過管殼上的小孔。這種檢測方法可以檢測漏氣率約為10-11至10-12cm3/sec的小孔,其靈敏度可以與放射性泄漏檢測方法相媲美,但比放射性泄漏檢測法更簡單。氦氣泄漏檢測測試方法:首先,將封裝好的部件放入充氦容器中,加壓,使氦氣通過小孔進入管殼;然后提取出來,用壓縮空氣吹出管殼表面殘留的氦氣;然后,使用質譜儀來檢測氦泄漏到管殼外部。