在電器設備中，介質使用的必要條件之一是介質的化學惰性。也就是說，介質不能與設備使用的材料發生化學反應。在正常條件下，純六氟化硫可以滿足這個條件。


六氟化硫的化學性質非常穩定，在空氣中不燃燒，不支撐燃燒，不與水、強堿、氨、鹽酸、硫酸等反應。SF6具有良好的熱穩定性，在常溫或高溫狀態下不會發生，SF6的熱分解溫度約為500°c，但由于特定金屬的存在，SF6的穩定性大大降低，其熱分解溫度從°150結果超過200·氣溫達到150℃，六氟化硫開始慢慢變成氟化硅板硫化，六氟化硫在鋁或銅存在的情況下約200℃開始分解。250歲時，他開始與金屬鈉反應，生成氟化鈉。但是，在223°c時，將各種金屬放入六氟化硫氣體中進行270次測試的結果表明，腐蝕程度仍然可以忽略不計。


因此，sf6在電氣設備正常工作的溫度范圍內是穩定的，不會對電氣設備常用的金屬(鋼、鋁)和絕緣材料(環氧樹脂等)產生化學影響。六氟化硫只有在電弧的作用下，在數千°c的溫度下才會發生劇烈的分解和離子化，產生各種各樣的分解產物，其中一些以石英粉末為填充劑，導致環氧絕緣體的絕緣性能下降。


碳素，六氟化硫分子，作為arc熄滅介質斷路器SF6能成為很大的強項，因此在水平不使用絕緣體以外的情況下，形成碳素粒子。表面連續導體層的石油逐漸變黑，顯示石油的含碳量增加，必須替換為絕緣石油。


另外，六氟化硫氣體的空氣含量也受到嚴格的管理。因此，六氟化硫氣體絕緣裝置觸點的氧化可以忽略不計，從而大大提高了觸點的壽命。