六氟化硫在電弧作用下主要sf6分解產物有：

（1）四氟化硫（SF4），在常溫下為無色氣體，有類似SO2的刺激味道。在空氣中能與水蒸氣形成煙霧。SF4與水猛烈反應生成SOF2和HF，與堿液反應生成氟化物和亞硫酸鹽，遇濃硫酸會發生分解并放熱。SF4易溶于苯，可用堿液或活性氧化鋁吸收。SF4對肺有侵害作用，影響呼吸系統，其毒性與光氣并列。SF6氣體泄露檢測系統原聯邦德國和美國規定空氣中允許濃度為0.1×106。

（2）氟化硫（S2F2），在常溫下為無色、有類似SCl2味道的氣體；遇水蒸氣能在30～40s內完全水解形成S、SO2和HF；90℃開始分解，200～250℃反應加快；常溫下不與Fe、A1、Si、Zn反應，與水和堿激烈反應，與氨作用生成NH4F。S2F2易被活性氧化鋁吸收。S2F2為有毒的刺激性氣體，對呼吸系統有類似光氣的破壞作用。

（3）二氟化硫（SF2），極不穩定，受熱后更加活潑，易水解生成S、SO2、HF。可用堿液或活性氧化鋁吸收。毒性與HF近似，美國毒性基準規定為5×106。

（4）十氟化二硫（S2F10），為五氟化硫的二聚物，在常溫常壓下為易揮發性液體，無色、無臭、無味，化學性質上極穩定；在水和濃堿液中分解極慢，且不溶于其中；在200～300℃時即完全分解生成SF4和SF6。S2F10是一種劇毒物質，其毒性超過光氣，主要破壞呼吸系統，空氣中含1×106能使白鼠8h死亡。美國和聯邦德國曾規定S2F10在空氣中之允許濃度為0.025×106。（5）氟化亞硫酰（SOF2），為無色氣體，有窒息性味道。化學性質很穩定，在紅熱溫度下仍不活潑，例如在125℃時不與Fe、Ni、CO、Hg、Si、Ba、Mg，Al、Zn以及氯、溴、一氧化氮等物質反應。SOF2可發生水解反應，并能在堿的酒精溶液中分解。它與水的反應在0℃時進行緩慢，然而它與溶于HF中的水可瞬時反應。SOF2為劇毒氣體，可造成嚴重肺水腫，刺激黏膜，當空氣中含有1×106～5×106時即可覺察出刺激味道，并會引起嘔吐。

（6）氟化硫酰（SO2F2），無色無臭氣體，化學上極穩定，加熱至150℃亦不與水和金屬反應。SO2F2：被KOH、NH4OH緩慢吸收，但不易被活性氧化鋁吸收。蘇打石灰（CaO+NaOH）可吸收SO2F2。SO2F2是一種導致痙攣的有毒氣體，可引起全身痙攣并麻痹呼吸器官、肌肉、使其失去正常功能而造成窒息。它與SOF2不同，它的危險性尤其在于無刺激味道，且不引起眼、鼻、黏膜的刺激作用，故初始不易察覺，往往發現中毒之后會迅速造成死亡。我國規定空氣中最高允許濃度為5×106。

（7）四氟化硫酰（SOF4），與水反應生成SO2F2并放出大量熱；能被堿液吸收；對肺部有侵害作用。

（8）氟化氫（HF），對皮膚、黏膜有強刺激作用并可引起肺水腫、肺炎等；對設備材質有腐蝕作用。

（9）二氧化硫（SO2），強刺激性氣體，損害黏膜及呼吸系統，還可引起胃腸障礙，疲勞等癥狀。

（10）二硫化碳（CS2），無色或淡黃色透明液體，有強刺激性氣味，易揮發，損害黏膜、神經和血管