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六氟乙烷的應用

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2022-12-19 10:26:00【

 電子工業:六氟乙烷作為等離子體蝕刻的工作氣體,在微電子工業的發展中發揮著重要作用,是處理超大規模集成電路的必要介質;

2.制冷和空調行業:六氟乙烷用作制冷和空調的制冷劑。六氟乙烷也可以與HFC-23形成共沸物R-508B,這不會破壞臭氧層。R-508B在多級壓縮循環的低溫段中用作CF-13和R-503的替代品;
3.化學工業:六氟乙烷可作為化學反應中的氟化物添加劑;
4.能源工業:六氟乙烷可作為電氣設備的絕緣劑和高介電強度的冷卻劑;
5.其他:六氟乙烷可用于設備表面清潔和纖維生產。