激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳?xì)浠衔锏入s質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。
激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進(jìn)行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為第一代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。
激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，
激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達(dá)99.999%，高純氮氣的純度99.999%，
高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，
氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機(jī)氣體雜質(zhì)對激光機(jī)的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機(jī)對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。
激光切割輔助氣體主要是干燥空氣、高純氮氣或工業(yè)氧氣，當(dāng)切割不銹鋼板或是切割鋁板時一般使用高純氮氣作為輔助氣體，一般壓力要求比較高。
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