天然氣行業(yè)術(shù)語(yǔ)。半導(dǎo)體工業(yè)中使用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子氣體。它可以分為三類(lèi)：純氣體、純氣體和半導(dǎo)體特殊材料氣體。特殊材料氣體主要用于外延、摻雜和蝕刻工藝；高純度氣體主要用作稀釋氣體和載氣。什么是電子氣體？合力燃?xì)猓ㄉ虾＃┯邢薰灸壳暗囊?guī)模是多少？

電子氣體是特種氣體的一個(gè)重要分支。根據(jù)純度和用途，電子氣體可分為電子級(jí)、LSI（大規(guī)模集成電路）級(jí)、VLSI（超大規(guī)模集成電路）和ULSI（超大規(guī)模電路）級(jí)。

 

通常，那些大約5N的可以稱(chēng)為電子質(zhì)量。5N表示五個(gè)9，即99.999%。現(xiàn)場(chǎng)凈化的電子質(zhì)量氣體可達(dá)到8N~10N。罐中的電子級(jí)7N是指半導(dǎo)體工業(yè)中使用的那些，用于制造硅片和硅片上的電路。

近年來(lái)，隨著我國(guó)超大規(guī)模集成電路、平板屏、光伏發(fā)電等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，電子氣市場(chǎng)需求大幅增加，電子氣國(guó)產(chǎn)化已成為大勢(shì)所趨。很明顯，中國(guó)在國(guó)產(chǎn)化方面取得了可喜的進(jìn)展：國(guó)產(chǎn)高純度氨改變了外國(guó)天然氣公司的市場(chǎng)壟斷格局，高純度四氟化氫“有價(jià)值但不可用”的時(shí)代已經(jīng)結(jié)束，高純度氯化氫成功打開(kāi)了國(guó)內(nèi)市場(chǎng)。