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四氟化碳供應

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2024-02-06 09:24:31【

四氟化碳供應

四氟化碳


四氟化碳是微電子工業中使用最多的等離子燭刻氣體,其高純氣和四氟化碳高純度與高純度氧氣混合。

1. 可廣泛應用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和鎢膜材料燭刻。對于硅和二氧化硅系統,通過調

整兩種氣體的比例,可以獲得45:1的選擇性,這在刻蝕多晶硅格柵極上的二氧化硅薄膜時非常有用。


2. 還廣泛應用于電子設備表面清潔、太陽能電池生產、激光技術、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢測劑、

控制宇宙火箭姿態、印刷電路生產中的去污劑等方面。


3. CF4由于其強大的化學穩定性,也可用于金屬冶煉和塑料工業。

4. 四氟化碳具有良好的溶解氧,因此被科學家用于超深度潛水實驗,而不是普通的壓縮空氣。目前,

它已經在老鼠身上取得了成功,在275米到366米的深度內,老鼠仍然可以安全地脫離危險。


儲存四氟化碳
1. 氣瓶的使用和檢驗符合國家質量技術監督局《氣瓶安全監督條例》的規定。
2. 氣瓶不得靠近火源,不得暴露在陽光下,與明火的距離一般不小于10米,氣瓶不得撞擊。
3. 氣瓶的瓶子嚴禁沾油。
4. 氣瓶內的氣體不能全部用盡,應留下不小于0.04MPa的剩余壓力。

四氟化碳鋼瓶采用鋼質無縫氣瓶包裝,產品純度99.999%。武漢紐瑞德氣體公司多年來一直專業供

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