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同位素硼:半導體工藝中的隱形英雄

文章出處:責任編輯:人氣:-發表時間:2024-10-21 09:03:33【

同位素硼:半導體工藝中的隱形英雄  

15N-N2(1)
同位素:有?類物質具有相同的質?數,不同的中?數,它們占據化學元素

周期表的同?位置,我們稱之為同位素(Isotope)。

整個芯片行業比較大,專注于芯片制造過程中的離子注入等過程。硼-10(以

下簡稱“10B”)和硼-11(以下簡稱“11B”)在自然界中的比例是11。:但是在離子

注射過程中,需要高豐度的11B。所以,為了滿足所需的豐度,我們采用了

持續分離和去除10B的過程。舉例來說,我們產品硼的純度可以達到99.999%

,但是仍然不合格。盡管硼的純度很高,但是為了達到更高的純度11B,我

們仍然需要將10B的含量降低到更低的水平。
同位素硼的工業市場前景十分廣闊。同位素有10B和11B兩種,我們豐富的

10B能吸收中子,因此在核電行業,尤其是在安全環節,需求量很大。半導

體行業,雖然不需要10B,但對11B的需求卻很大。所以,如果我們在10B和

11B中獲得高豐,它不僅可用于核電行業,也可用于半導體行業。

有一種非常流行的方法叫做硼中子捕獲療法,簡稱BNCT,主要針對腦膠質

瘤。它是用10B吸收中子后的一種。α衰變,α衰變半徑很短,只是癌細胞的

半徑,從而破壞癌細胞。所以硼被廣泛使用。它需要半導體、核電和醫療。

只要它能分離出高豐度的硼,當然。
現在,人類已經發現了13種同位素硼,其中11種是放射性的,只有10B和11

B是穩定的同位素,沒有放射性。在半導體和電子芯片制造過程中,10B具

有很強的中子吸收能力,而11B幾乎不吸收任何中子。這一差異決定了10B

作為核電和醫療領域的基礎材料,而三氟化硼-11氣體(以下簡稱11BF3)作為

高端半導體產品制造的電子特性,是半導體和電子芯片制造過程中的消耗材

料。

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