特種氣體的應用

文章出處：責任編輯：人氣：-發表時間：2022-02-24 08:57:00【大中小】

電子工業是當今推動科技發展的高新技術產業,由于所用氣體的品種多、質量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業中用的氣體統稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產業。

電子行業常用的特氣超過三十余種，按危險性質可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。

特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產制造。在半導體工業中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20～30種。

在集成電路制造應用方面具體包括集成電路芯片制程、化學氣相沉積和氣體應用、刻蝕和氣體應用、摻雜和氣體應用；

在太陽能電池應用方面具體包括太陽能電池的應用、晶體硅太陽能電池生產工藝和氣體應用、薄膜太陽能電池生產工藝和氣體應用；在化合物半導體應用方面具體包括化合物半導體的應用、MOCVD／LED生產工藝和氣體應用；在液晶顯示器應用方面具體包括TFT／LCD的應用、TFT／LCD生產工藝和氣體應用；在光纖應用方面具體包括光纖應用和光纖預制棒的生產工藝和氣體應用。

二、一般混合氣體

由兩種以上氣體混合配制而成的氣體,而且主要標出大致濃度,即可滿足使用要求,這種氣體稱為一般混合氣體。

對氣體分析儀用氣體,如含氫10%，其余是氦的混合氣以及含甲烷5%或10%，其余是氬的混合氣，被用作氣相色譜儀的載氣；含氫40%，其余是氮或氦的混合氣被用作氫火焰總烴檢測儀的燃料氣。另外,含氧20%～60%,其余是氬的混合氣被用來發生化學熒光分析儀用的臭氧。

在測定放射性物質時,使用的混合氣有下列幾種組成:含異丁烷0.95%,或含丁烷1.3%，或含丙烷1.5%，或含甲烷5%～10%，均以氦為底氣。

各種混合氣也常被用作照明燈具的充填氣和數字顯示管等的充填氣，這類氣體大多是用下列兩種以上氣體混合而成的:氬、氖、氦、氪、氮。鹵光源生產則用溴甲烷、氯甲烷、溴化氫、碘甲烷、氯仿等氣體與氬的混合氣。

深海呼吸用含氧20%～60%,其余是氮或氦的混合氣。激光用氣含CO24%～16%,N210%～25%，其余是氦。

金屬熱處理保護氣可用含氫0.5%～10%,其余為氬的混合氣或二氧化碳10%～40%、20%～60%,其余為氮氬的混合氣。

光化學反應、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧化硫和硫化氫等都要保持低濃度。

三、標準氣體

所謂標準氣體就是用來校正測量儀器、評價測定方法、給出未知樣品氣標準值的氣體。它分為調整零位用標準氣體(零位氣體)、監測環境用標準氣、工業分析用標準氣體、醫療儀器用標準氣體、可燃性氣體泄漏用標準氣體、燃燒器尾氣用標準氣體六大類。

由于使用了標準氣,所以即使在不同場所測定,也具有相同測定值。

標準氣體應用范圍很廣,在化工、石油冶金、機械、航天、電子、軍工玻璃、陶瓷、醫藥醫療、汽車、光纖、激光、潛水、環保、切割、焊接、食品加工等工業部門均使用大量的常用氣體和特種氣體。其中在石油化工領域對標準氣體的需求量相對較大。