氙氣的最新用途是用在電子芯片制造業,也是目前氙需求增長及對氙投機買賣的最重要原因,幾家大型芯片制造商正使
用氙氣等離子蝕刻,主要用于微電子機械系統( MEMS )的制造。MEMS設備可將微電子和微機械集成為一個整體,能
在一塊芯片上制作更復雜及功效更強的電路。這種技術從根本上把電腦芯片(處理數據)和傳感器(收集數據)結合到
一個元件上,可以批量生產,這種芯片的潛在用途不可限量,氙氣蝕刻工藝就由一些半導體制造商用于生產這種超級芯
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