近年來鉆石薄膜在表面處理上適應于塑膠、玻璃、陶器及金屬，而溫度近乎室內氣溫，對天然鉆石特別適合，采用了鉆石薄膜表面處理后，可發揮其性能。對多類金屬、玻璃及塑膠產品上，可使其產品表面較硬能抵御耐磨。所以有很多五金廠家以及其它行業喜歡用鉆石薄膜作為最后一道工藝來處理自己的產品，增加產品壽命。經過研究發現氬氣和甲烷混合氣能夠促進鉆石薄膜成長，增大納米顆粒的大小，接下來就由紐瑞德特氣小編月月為大家帶來詳細介紹。

  以低功率和無添加任何氫氣和氧氣之Ar/CH4的混合之微波電漿輔助化學氣相沉積法成長鉆石薄膜。在成長鉆石薄膜的反應過程中過多的碳含量會在反應腔體內形成非鉆石相的石墨，因此為了防止這類不良的氣相反應，在一個固定氣體壓力和混合氣體的比率等條下，降低流入反應腔體的氣體流量，觀察氣體駐留在腔體的反應時間對成長鉆石薄膜之影向進行研究。首先將預設好的總混合氣體流量固定，在氣體流入反應腔體前方計置一個配有質量流量控制器的分流系統，將一部份的氣體借由此系統排放出去，只讓所需要之氣體流量進入反應腔體內，進行反應。在這過程中混合氣體的比率、氣體壓力、微波功率及基板溫度都保持不變。當分流總氣體流量百分比到達一定的流量時，實驗結果顯示，一個品質良好、表面平滑的超奈米鉆石薄膜成功沉積在硅基板上。此外也利用Ar/CH4混合氣體所形成的電漿之自體偏壓使基板與電漿之間相互作用達到最佳化，進而促進鉆石薄膜的成長。通過微調製程氣體壓力使Ar/CH4混合氣體形成的微波電漿與基板在一定的距離下相互作用，在沒有添加任何的氫或氧的情況下可使鉆石薄膜的晶粒由超奈米鉆石增長至微米鉆石晶粒般的大小。

  補充說明：

  甲烷是一種無色無臭易燃氣體，微溶于水，溶于乙醇、乙醚、苯、甲苯等。高純甲烷氣體主要用于標準氣，校正氣，太陽能電池，非晶硅膜，乙烴、氫氣、合成氨等。

  氬氣在在飛機制造、造船、原子能工業和機械工業部門等領域多有應用，但一般用作氣體保護氣。

  氬甲烷混合氣主要由99.999%的高純氬和99.99%的高純甲烷組成，比例：90％氬氣＋10％甲烷，包裝：40L鋼瓶，壓力：10MPa，（僅供參考）用途：廣泛用于X射線熒光光譜儀、電子俘獲檢測器等儀器。

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