六氟化硫氣體雖然是一種常溫下性質比較穩定的物質，但是在高溫電弧的作用下SF6氣體變回分解成為多種含氟化合物，電弧、電火花和電暈放電的作用下，可導致SF6氣體發生復雜的分解，生成各種有毒氣體，主要有SF4，SOF2，SO2F2，SOF4，SO2，CO2，H2S，HF和CF4等。這些分解物大部分對人體有害，同時也會危害環境，處理好這些六氟化硫分解物就非常重要！

  前不久廣西電科院完成了廣西第一個六氟化硫固體分解物分析檢測實驗室的建設，標志著廣西電網六氟化硫電氣設備故障診斷技術步入了一個新臺階。據介紹六氟化硫固體分解物檢測實驗室是該院SF6重點實驗室建設的一個重要內容，主要由電感耦合等離子體質譜分析系統（ICP-MS）及相關支撐設備構成，該系統通過ICP的高溫（7000K）電離特性與四級桿質譜儀的靈敏快速掃描優點相結合的新型元素和同位素分析技術，可以分析檢測六氟化硫固體分解物的元素組成，從而快速診斷六氟化硫電氣設備內部故障發生的部位。

  SF6電氣設備的內部故障是一個復雜的物理化學過程，分解氣體的種類多、含量小、穩定性差，其種類和含量不但與故障能量大小有直接關系，還與故障的部位及材料類型、氣體濕度、雜質，故障后吸附劑的吸收時間等有密切關系。對設備故障應進行綜合分析，除使用六氟化硫固體分解物分析檢測其分解產物，因輔助以對GIS局部放電在線檢測，結合超聲手段進行局放定位等技術手段，同時利用新技術如新型氦離子化氣相色譜分析方法來全面、高精度分析SF6氣體分解產物，這樣才能提高故障診斷的準確性。

  在處理SF6固體分解物時，除了使用合理的檢測手段去分析發生故障的部位之外，還應做好方法措施。以六氟化硫(SF6)氣體作為絕緣和滅弧的電器設備,在下列四種情況下必須對其內的六氟化硫(SF6)氣體及分解物進行回收或中和處理。
  （ 1 ）在新產品開發時,做過絕緣試驗和開斷試驗的試品；
  （ 2 ）檢修進行過的電器設備；
  （ 3 ）處理發生故障的電器設備；
  （ 4 ）淘汰、更換掉的電器設備。

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