氫氣、氧氣、氬氣都是常見的工業氣體,他們運用在焊接、焊接保護等多種領域中。目前有研究學者對混和氫氣、氬氣或氮氣于乙炔中對電漿輔助化學氣相法沉積類鉆碳膜之機械與耐磨耗特性的影響進行了研究。紐瑞德特氣小編月月就為大家帶來詳細介紹。
科學家以電漿輔助化學氣相沉積系統在硅基材上沉積類鉆碳膜,在沉積的過程中,固定相同的時間,以乙炔混合氫氣、氬氣與氮氣,依不同的流量比,探討在不同氣氛下沉積類鉆碳膜,分別以表面輪廓儀量測膜厚、原子力顯微鏡量測碳膜表面粗糙度、拉曼光譜儀分析碳膜膜結構、奈米壓痕量測碳膜硬度、菲佐干涉儀量測膜內壓應力與磨耗試驗機量測耐磨耗性質。實驗結果顯示隨摻雜氫氣、氬氣與氮氣的增加,碳膜的厚度隨之下降,氫氣的蝕刻效應比氬氣與氮氣來的明顯。隨著氫氣、氬氣與氮氣含量的增加,皆有助于表面粗糙度的下降,摻雜氫氣一樣具有比氬氣與氮氣更平滑的表面。膜內結構皆會隨著氣體含量的增加,相對于sp3的結構比例增加,顯示碳膜內結構有可能往類石墨結構發展。隨氫氣與氬氣含量的增加有助于膜內硬度上升,氮氣部分硬度反而下降,有可能在沉積過程中氮氣轟擊碳膜使膜內sp3C-C鍵結被打斷,使膜內硬度下降。膜內壓應力隨氬氣與氮氣含量的增加,膜內應力先是上升加入后下降,顯示氬氣與氮氣皆有可能降低膜內壓應力。磨耗部分氫氣與氬氣含量的增加有助于類鉆碳膜耐磨耗特性,而氮氣無太明顯的影響。
化學小常識:
氫是主要的工業原料,也是最重要的工業氣體和特種氣體。高純氮氣主要用途:化肥、氨、硝酸等化合物的制造,惰性保護介質,速凍食品、低溫粉碎等的制冷劑、冷卻劑,電子工業中的外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻等,還用作標準氣、校正氣、零點氣、平衡氣等。氬氣是目前工業上應用很廣的稀有氣體。它的性質十分不活潑,既不能燃燒,也不助燃。在飛機制造、造船、原子能工業和機械工業部門,對特殊金屬,例如鋁、鎂、銅及其合金和不銹鋼在焊接時,往往用氬作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化。
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