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光刻機中你不知道的化學知識
許多化學和化學工程專業的學生經常覺得自己選錯了專業。事實上,化學和化學工程的知識非常廣泛。請不要沮喪。讓我們談談光刻術對化學原理的依賴性。光刻技術利用光子能量在晶圓表面“雕刻”光刻膠,將掩模圖像傳輸到晶圓表面。顧名思義,光的使用是光刻技術的核心,因此可能存在誤解。光刻是一種物理上占主導地位的工藝,但化學原理在光刻工藝中起著至關重要的作用。 1. 光化學反應 光化學反應是光刻工藝的基本原理。所謂光化學反應是利用光子能量作為活化劑產生自由基,然后通過一系列更多 +
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半導體、氖氣Ne所需面臨的新的問題
芯片制造商面臨許多新的挑戰。繼2019冠狀病毒疾病導致的供應鏈問題之后,該行業正面臨新的風險。俄羅斯已開始限制向其認為敵對的國家出口。這些是所謂的“稀有”氣體,如氖、氬和氦。 氖在半導體生產中起著重要作用,因為它涉及一種稱為光刻的工藝。這種氣體控制激光在硅上雕刻“痕跡”所產生的光的波長。戰前,俄羅斯在其鋼鐵廠收集了Rohneon作為副產品,然后將其運往烏克蘭進行凈化。在蘇聯時代,兩國都是稀有氣體的重要生產國。蘇聯使用稀有氣體建造軍事和空間技術。然而,更多 +
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高純氣體在半導體、光纖等行業的應用?
高純氣體工藝系統目前主要用于泛半導體產業(集成電路、平板顯示、光伏、LED等等)和光纖、生物制藥及食品飲料行業。 高純氣體工藝系統的好壞會直接影響先進制造行業中工藝設備的運行及投產后的成品率。一個優秀的高純氣體工藝系統設 企業如沃飛,能通過控制高純氣體的純度,實現其制程精度要求,保障并提升產品良率。 1、在泛半導體產業中高純氣體工藝系統的運用 高純度的特種氣體參與泛半導體行業集成電路制造的核心工藝流程:摻雜、光刻、刻蝕和CVD成膜工藝環節。更多 +
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一周翻了5倍的稀有氣體——氖氣
氖氣(Ne),制造芯片的關鍵性材料,怎么個關鍵? 沒有光刻機,做不出芯片。 沒有光刻氣,光刻機就是個模型。 氖氣,占光刻氣這種激光氣體混合物的96%以上。 氖氬氟等稀有氣體經高壓受激發后形成等離子體,在這個過程中,由于電子躍遷,會產生固定波長的光線,形成了剔除光刻膠的刀片。 除此之外,還有兩個好兄弟,氪氣(同樣用于光刻制程),氙氣(用于半導體刻蝕制程)。 一周內,氪氣漲幅約30%,目前主流價格在38000-42000元/方。氙氣漲幅約40%,主流價格在42萬—45萬/方。更多 +
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沖突之下,光刻機巨頭尋求烏克蘭氖氣替代,國產氖氣有望進場補位
俄烏對峙狀況越來越激烈,這兩個國家都是全球氖氣主要生產國,特別是烏克蘭,供應了全球70%的氖氣,這種稀有氣體對半導體光刻環節至關重要,難以取代。 所以俄烏沖突一爆發,光刻機巨頭阿斯麥便緊張兮兮,畢竟他家20%的氖氣供應來自烏克蘭,要是供應中斷,風險太大了,所以阿斯麥正在四處尋找其他氖氣供應來源。 雖說,高純氖氣量產提純的技術門檻很高,能達標的企業屈指可數,但由于中國是全球鋼鐵大國,氖氣是鋼鐵行業的副產品,我國對于這些稀有氣體的純化技術早已實現突破,生產工藝成熟,不是一項&ldqu更多 +
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存儲芯片需求增長,2025年電子級稀有氣體用量或增加至850ML
在信息時代的飛速發展中,海量數據的處理不僅對于芯片算力提出越來越高的要求,不斷累積的數據也需要更大、更快、延時更低的存儲介質。電子工業中氪氙氣體主要用于3D NAND存儲器高深寬比刻蝕工藝,從而實現多層堆疊結構。預計2025年全球電子級稀氪氖氙氣體用量將增加至850ML,較2020年增長29%。 激光氣體主要用于電子工業中激光退火和光刻氣。光刻機是半導體制造的核心設備,光刻定義了晶體管尺寸,光刻產業鏈協同發展是光刻機突破關鍵。與之配套的光刻膠、光刻氣體、光罩等半導體更多 +
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常見的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導體工業和微電子工業中扮演著不可或缺的角色,其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外,還有一個重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規模集成電路(L.S.I)超大規模集成電路(V.L.S.I)和半導體器件生產中,主要用于氣相外延(生成)、化學氣相淀積、摻雜(雜質擴散)、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據不同用途又可以將電子混合氣體分為:晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
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電子特氣最全種類大全|紐瑞德電子特氣
電子特種氣體是特種氣體的一個重要分支,是集成電路(IC)、顯示面板(LCD、OLED)、光伏能源、光纖光纜等電子工業生產中不可或缺的關鍵性原材料,廣泛應用于薄膜、光刻、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴散等工藝,其質量對電子元器件的性能有重要影響。 氣體的產品種類豐富,電子元器件在其生產過程中對氣體產品存在多樣化需求。就集成電路制造過程中需要的高純特種氣體和混合氣體的種類超過 50 種,且每一種工藝步驟中都會用到特定的氣體。此外,在顯示面板、LED、太陽能電池片等器件的制造中的不同工藝環節均更多 +