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高純六氟化硫工業應用及未來發展
工業級高純六氟化硫主要用于斷路器、變壓器等電器設備。六氟化硫的使用可以增加設備運行的安全性、縮小設備體積、延長設備壽命。近幾年，國家大力發展基礎電力行業，給六氟化硫廠家帶來了很大的市場機遇。主要用于半導體工業中作清洗氣體。另外高純六氟化硫(純度在99.99%以上)，國內需求非常旺盛，而且附加值較高。 高純六氟化硫的成本只有NF3的幾分之一，近年來，各公司以廉價的SF6取代以往CVD工藝中作為清洗氣體的NF3的新技術正被廣泛研究。該技術在大幅降低液晶產品加工中占相當比例的CVD氣體成更多 +
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常見的5種電子混合氣體|紐瑞德特氣
氣體在半導體工業和微電子工業中扮演著不可或缺的角色，其中除了大家熟知的一些大宗氣體以外，還有一個重要的分支:電子混合氣體。電子混合氣體廣泛用于大規模集成電路（L.S.I）超大規模集成電路（V.L.S.I）和半導體器件生產中，主要用于氣相外延（生成）、化學氣相淀積、摻雜（雜質擴散）、各類蝕刻和離子注入等工藝中。 根據不同用途又可以將電子混合氣體分為：晶體生長氣、熱氧化氣、外延氣、摻雜氣、擴散氣、化學氣相淀積氣、噴射氣、離子注入氣、等離子蝕刻氣、載氣/吹洗氣、光刻氣、退火氣、焊更多 +
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臺大疑似砷化氫外泄，砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢？
據臺灣“中時電子報”報道，11月5日上午10時許，國立臺灣大學電機系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄，由于適逢期中考，校方緊急疏散師生，11人預防性送到醫院檢查。 臺灣網友指出，氣體是從4樓外泄，出事的實驗室是做半導體的，這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導體上面，其本身是無色無臭氣體，易燃且極毒。報道說，詳細情況及出事原因到底為何，仍有待進一步了解。 在半導體中應用,砷烷用于半導體工業中外延硅的n型摻雜；硅中n型擴散；離子注入；生長砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
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半導體工業中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導體器件、化合物半導體、激光器、光導纖維、太陽能電池等的高純度氣體，一般純度在99.999%（5N）以上。其中55％的市場份額是背景氣體（如氧、氮、氬、氫、CO2等）；其他45％為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發展至100余種：混合氣己有17類、330多個品種，大約1000多種規格。超凈高純特種氣體配套性很強，根據不同用途分別有電子級、載氣級、發光二極管級、光導纖維級、VLSI級（超大規模集成電路級）等。最近為適應兆位集成電路的生產更多 +
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高純氬的作用及注意事項
高純氬是主要的工業原料，也是最重要的工業氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業、冶金工業、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。高純氬的作用有很多，而且在使用的時候也有很多注意事項。下面譜源氣體為大家介紹一些氬氣方面的知識。 高純氬的作用： 1、高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體。 2、可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體。 3、在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。 ; 4、高純氬也可作為色更多 +
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高純六氟化硫氣體的應用
高純六氟化硫氣體是我國科研、生產等許多部門急需的特種氣休,在半導體工業巾用于等離子蝕刻工藝,在光導纖維制造中用作隔離層摻雜劑。高純六氟化硫氣體還是重要的激光材料,在其它領域也有重要用途。更多 +
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氨氣/一氧化二氮電漿處理鈦酸鎳/鈦酸鈷複晶硅絕緣層
氨氣要用于生產硝酸、尿素和其他化學肥料，還可用作醫藥和農藥的原料，也可以廣泛地應用于半導體工業、冶金工業，以及需要保護氣氛的其他工業和科學研究中。一氧化二氮能溶于水、乙醇、乙醚及濃硫酸，但不與水反應。它也可以用來作為火箭和賽車的氧化劑，以及增加發動機的輸出功率。科學家發現笑氣和氨氣能夠使鈦酸鈷及鈦酸鎳崩潰電場，從而發揮更大的潛力。更多 +
