據(jù)臺灣“中時電子報”報道,11月5日上午10時許,國立臺灣大學(xué)電機系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄,由于適逢期中考,校方緊急疏散師生,11人預(yù)防性送到醫(yī)院檢查。
臺灣網(wǎng)友指出,氣體是從4樓外泄,出事的實驗室是做半導(dǎo)體的,這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導(dǎo)體上面,其本身是無色無臭氣體,易燃且極毒。報道說,詳細(xì)情況及出事原因到底為何,仍有待進一步了解。
在半導(dǎo)體中應(yīng)用,砷烷用于半導(dǎo)體工業(yè)中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷砷化鎵(GaAsP)以及與III/V族元素形成化合物半導(dǎo)體。
AsH3可用于合成與微電子學(xué)及固態(tài)雷射有關(guān)的半導(dǎo)體材料。與磷相似,砷是硅及鍺的n-摻染物。更重要的用途是以AsH3為原料,在700-900°C通過化學(xué)氣相沉積來制造半導(dǎo)體材料砷化鎵。
砷化氫泄漏應(yīng)該怎么辦呢?
一般發(fā)生砷化氫中毒后,需要將中毒者迅速撤離泄漏污染區(qū)轉(zhuǎn)移至上風(fēng)處,并立即隔離450米,嚴(yán)格限制出入,同時切斷火源。
紐瑞德提醒,從事與砷化氫相關(guān)的工作,需要配備自給正壓式呼吸器,當(dāng)發(fā)生事故以后,建議應(yīng)急處理人員也要佩戴自給正壓式呼吸器,穿防毒服,盡可能切斷泄漏源。同時要做好通風(fēng)工作,加速毒氣的擴散,最好能夠使用噴霧狀水稀釋、溶解,并構(gòu)筑圍堤或挖坑收容產(chǎn)生的大量廢水。如有可能,將泄漏出的氣體用排風(fēng)機送至空曠的地方或裝設(shè)適當(dāng)噴頭燒掉。
工作現(xiàn)場嚴(yán)禁吸煙、進食和飲水。工作畢,淋浴更衣。進入高濃度區(qū)作業(yè),必須有人監(jiān)護。當(dāng)發(fā)生吸入砷化氫氣體時,迅速脫離現(xiàn)場至空氣新鮮處,保持呼吸道通暢。如呼吸困難,給輸氧。如呼吸停止,立即進行人工呼吸,并及時就醫(yī)。