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: 特種氣體的應(yīng)用

電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當(dāng)今興起的高技術(shù)含量、高投入、高附加值的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種，按危險(xiǎn)性質(zhì)可分為不燃?xì)怏w、可燃?xì)怏w、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)
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: 韓國(guó)稀有氣體“氖”成功實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化！

隨著近年來半導(dǎo)體市場(chǎng)的高速增長(zhǎng)，半導(dǎo)體工藝中使用的氖 (Ne)、氙 (Xe) 和氪 (Kr) 等稀有氣體的需求迅速增加。韓國(guó)稀有氣體市場(chǎng)預(yù)計(jì)將從2020年約1600億韓元增長(zhǎng)到2023年約2800億韓元，年均增長(zhǎng)20%。然而，韓國(guó)目前100%進(jìn)口稀有氣體。氖氣是空氣中含量?jī)H有0.00182%的一種稀有氣體，是半導(dǎo)體曝光工藝中使用的準(zhǔn)分子激光氣體的原料之一。過去，全部進(jìn)口并依賴外國(guó)技術(shù)，由于貿(mào)易爭(zhēng)端導(dǎo)致價(jià)格飆升和供應(yīng)短缺，韓國(guó)曾試圖將產(chǎn)品本地化。此次建成的裝置每年可生產(chǎn)約22000
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: 5G時(shí)代，鍺烷市場(chǎng)需求凸顯

鍺烷（GeH4）和乙鍺烷（Ge2H6）均為電子工業(yè)用的關(guān)鍵氣體材料，對(duì)整個(gè)行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展起著重要的支撐配套作用。鍺烷主要用于半導(dǎo)體制程中在硅片上沉積SiGe（硅鍺）層。硅鍺材料的載流子遷移率高、能帶寬度隨Ge的組分變化而連續(xù)可調(diào)，因此,硅鍺材料在微電子和光電子方面有重大的應(yīng)用價(jià)值。5G時(shí)代，光通信芯片崛起，光通信傳輸芯片主流采用SiGe工藝來滿足其對(duì)高性能和低功耗的要求。國(guó)家發(fā)改委《增強(qiáng)制造業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力三年行動(dòng)計(jì)劃(2018-2020年)》曾對(duì)鍺烷純度和裝置規(guī)模就提出過具體要求。鍺烷也用于紅外光學(xué)材料、航天器空間
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: 科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展

近年來，5G，人工智能（AI）和物聯(lián)網(wǎng)等技術(shù)帶動(dòng)了泛半導(dǎo)體的高速發(fā)展。電子材料是半導(dǎo)體的支撐產(chǎn)業(yè)，電子氣體是半導(dǎo)體制造中僅次于晶圓的第二大類重要材料，品類多達(dá)百余種。日前，2021中國(guó)先進(jìn)電子材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會(huì)上發(fā)表了《科技創(chuàng)新助力電子氣體產(chǎn)業(yè)發(fā)展》通過對(duì)國(guó)內(nèi)電子氣體材料“卡脖子”現(xiàn)狀深入分析，指明了電子氣體技術(shù)的未來發(fā)展趨勢(shì)。電子氣體核心技術(shù)通常有四個(gè)大類，即合成技術(shù)、純化技術(shù)、潔凈灌裝技術(shù)和檢測(cè)技術(shù)。計(jì)總通過科利德公司電子級(jí)一氧化氮（NO）的生產(chǎn)案例向大家介紹了合成
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: 預(yù)測(cè)：2026年全球氦氣供應(yīng)過剩加劇，氦氣價(jià)格還會(huì)再降么？

近日電子特氣研討會(huì)上發(fā)表的專題報(bào)告——全球氦氣市場(chǎng)動(dòng)向，預(yù)測(cè)稱2026年后將出現(xiàn)供過于求。主要通過對(duì)氦氣供需情況分析、各國(guó)Key Supply Sources（美國(guó)、卡塔爾、俄羅斯、阿爾及利亞、澳大利亞、南非、波蘭、加拿大）、氦氣利用現(xiàn)狀等對(duì)全球氦氣市場(chǎng)進(jìn)行了評(píng)價(jià)。報(bào)告指出，到2026年全球氦30%將面臨供應(yīng)過剩。由于是半導(dǎo)體等工程中必需使用的特種氣體，因此掌握供求關(guān)系是非常重要的。報(bào)告提出，世界氦氣市場(chǎng)將從2020年代中期開始出現(xiàn)供應(yīng)過剩，其理由有3個(gè)：新
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: 電子特種氣體供需問題亟待通過回收再利用技術(shù)解決

面對(duì)半導(dǎo)體制造過程中特種氣體使用量持續(xù)增大帶來的溫室氣體排放問題和地緣政治問題引起的特殊氣體供求問題，韓國(guó)專家專家提出了發(fā)展特種氣體再利用技術(shù)的解決方案。近年來，隨著半導(dǎo)體及顯示器產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，特種氣體的使用量和排放量急劇增加，因此抑制該領(lǐng)域溫室氣體排放已經(jīng)成為當(dāng)務(wù)之急。在半導(dǎo)體材料·特種氣體研討會(huì)上，韓國(guó)代表就“半導(dǎo)體氣體Recycling技術(shù)和局限性”進(jìn)行了專題研討。他認(rèn)為，由于各國(guó)之間的貿(mào)易爭(zhēng)端，氦、氖、氪、氙等稀有氣體的回收和再利用刻不容緩。目前半導(dǎo)體
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: 氪氣價(jià)格飆漲是否會(huì)終結(jié)于此？

隨著科技進(jìn)步，氪氣因其特殊的物理特性被廣泛應(yīng)用于電子、醫(yī)學(xué)、中空玻璃及航空航天等領(lǐng)域。氪氣分離提取工藝要求較高，價(jià)格堪比黃金，因此又被稱為“黃金氣體”。近年來，氪氣市場(chǎng)價(jià)格飆漲的主要原因離不開供應(yīng)用端需求的拉動(dòng)，尤其是航空和半導(dǎo)體領(lǐng)域需求增量較為顯著。氪氣主要用于半導(dǎo)體存儲(chǔ)器件64層以上3D NAND高深寬比蝕刻工藝，在等離子狀態(tài)下與氧氣和其他氟碳?xì)怏w一起使用。日本鎧俠和韓國(guó)SK海力士是氪氣的主要客戶，氪氣需求量目前已經(jīng)接近全球可供應(yīng)量的50%。隨著5G、物聯(lián)網(wǎng)技
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: 國(guó)內(nèi)電子氣體發(fā)展趨勢(shì)了解下

電子特氣是工業(yè)氣體中附加值較高的品種，與傳統(tǒng)工業(yè)氣體的區(qū)別在于純度更高(如高純氣體)或者具有特殊用途(如參與化學(xué)反應(yīng))，是極大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)中不可或缺的基礎(chǔ)和支撐性材料之一，相關(guān)下游領(lǐng)域的快速發(fā)展將帶動(dòng)未來特種氣體的增量需求。行業(yè)壁壘和國(guó)內(nèi)電子特氣現(xiàn)狀：電子特氣對(duì)氣源和供應(yīng)系統(tǒng)有著苛刻的要求，屬于典型的技術(shù)密集型行業(yè)。技術(shù)工藝、設(shè)備資質(zhì)、客戶認(rèn)證、市場(chǎng)服務(wù)共同構(gòu)成了電子特氣的四大行業(yè)壁壘。其中，氣體純化和氣體精度是氣體制造的兩大技術(shù)壁壘。
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: 帶你了解一下我國(guó)的電子氣體

2018年全球集成電路用電子氣體的市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到45.12億美元，同比增長(zhǎng)16%，半導(dǎo)體用電子特氣行業(yè)增速高，龐大的市場(chǎng)規(guī)模，讓電子特氣的國(guó)產(chǎn)替代計(jì)劃全面加速！什么是電子氣體呢？電子氣體指的是用于半導(dǎo)體、平板顯示、發(fā)光二極管、太陽能電池及其它電子產(chǎn)品生產(chǎn)的基礎(chǔ)性源材料，被廣泛的應(yīng)用于清洗、刻蝕、成膜、摻雜等工藝。電子氣體的主要應(yīng)用范圍包括電子行業(yè)、太陽能電池、移動(dòng)通訊、汽車導(dǎo)航及車載音像系統(tǒng)、航空航天、軍事工業(yè)等諸多領(lǐng)域。電子特氣按其本身化學(xué)成分可分為：硅系、砷系、磷系
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: 三氟化氮價(jià)格會(huì)持續(xù)上漲么？

三氟化氮是電子特種氣體中需求量最大的氣體，是半導(dǎo)體、顯示器、太陽能電池產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)制造的必備材料。近年來，隨著半導(dǎo)體和新型顯示器市場(chǎng)的發(fā)展，三氟化氮的需求不斷增加，主要生產(chǎn)企業(yè)在近幾年內(nèi)大規(guī)模擴(kuò)建，世界范圍內(nèi)三氟化氮的產(chǎn)量也有所上升。雖然這樣，9月份以來，三氟化氮市場(chǎng)仍出現(xiàn)了“缺貨”現(xiàn)象，主要是因?yàn)槭袌?chǎng)供應(yīng)跟不上需求量。隨著半導(dǎo)體超大規(guī)模集成線路芯片超微化和OLED等新型顯示技術(shù)的發(fā)展，NF3市場(chǎng)需求量也一直呈爆發(fā)式增長(zhǎng)，三氟化氮未來五年年均復(fù)合增長(zhǎng)率近10%。
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