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蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬?gòu)?fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形。刻蝕分為濕法蝕更多 +
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影響標(biāo)準(zhǔn)氣體穩(wěn)定度的四大因素
一、氣體組分的相容性。如果配制氮?dú)庵幸谎趸?氮?dú)獾臉?biāo)準(zhǔn)氣體， 如果高純氮中含有氧或充裝中帶入氧， 那么混合氣體就變成了二氧化氮/氮?dú)饬恕㈩愃魄闆r的問(wèn)題整理為以下幾點(diǎn)： 1、 可燃性氣體或自燃?xì)怏w與氧化性氣體： 如果在爆炸下限以上或最小需氧量以上將可燃性氣體和氧化性氣體充入同一個(gè)氣瓶中， 會(huì)有爆炸的危險(xiǎn)。碳?xì)浠衔锖蜌錃庾鳛榭扇細(xì)怏w容易被人們重視，而一氧化碳的可燃性卻常常被人們忽視， 而只是關(guān)注了它的毒性。氧氣是助燃?xì)怏w， 而一氧化氮、一氧化二氮、二氧化氮、 F2、 氯氣、三氟化氮更多 +
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高純硅烷和普通硅烷的品質(zhì)指標(biāo)對(duì)比
高純硅烷的品質(zhì)無(wú)統(tǒng)一規(guī)定，各個(gè)生產(chǎn)單位生產(chǎn)的硅烷品質(zhì)通常有微小差別。下標(biāo)是5N、6N級(jí)高純硅烷和普通硅烷品質(zhì)指標(biāo)。 從表中可以看出，5N級(jí)硅烷除氫氣、氦氣外，雜質(zhì)氣體氧（氬）、一氧化碳+二氧化碳控制在0.4ppmv，其他雜質(zhì)氣體均在0.2ppmv。6N級(jí)硅烷均控制在0.1ppm。普通硅則高了一個(gè)數(shù)量級(jí)，氯化物甚至達(dá)到了15ppmv，高了兩個(gè)數(shù)量級(jí)。更多 +
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三氯氫硅的安全運(yùn)輸及裝卸
運(yùn)輸?shù)囊话阋? (1)只允許有資格、有經(jīng)驗(yàn)并經(jīng)過(guò)全面培訓(xùn)的員工才能給儲(chǔ)罐及槽車取樣、連接、裝載、卸載或斷開(kāi)。 (2)在取樣、連接、裝載、卸載或斷開(kāi)操作中，應(yīng)穿著防護(hù)服，在裝載或卸載區(qū)域8-15m的范圍內(nèi)，應(yīng)設(shè)置緊急淋浴裝置和洗眼噴泉，連接并準(zhǔn)備好緊急情況下使用的消洗軟管，在操作前應(yīng)測(cè)試相關(guān)的設(shè)施是否完好。 裝卸的方法 三氯更多 +
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一氧化氮的應(yīng)用
一、化學(xué)工業(yè) 1901年開(kāi)始用電弧法自空氣中制取氮氧化物。在電弧的作用下，使氮和氧直接化合成一氧化氮，再進(jìn)一步加工制成硝酸。根據(jù)佛山科的氣體有限公司多年的經(jīng)驗(yàn)，將其應(yīng)用總結(jié)如下： 一氧化氮是制造硝酸的重要的中間產(chǎn)物，在硝酸生產(chǎn)中，一氧化氮被氧化為二氧化氮，再與水反應(yīng)生成硝酸。 一氧化氮也可用于硝化生產(chǎn)工藝，它可與烯烴加成，生成二亞硝基化合物，后者可被氧化為硝基化合物。 聚氯乙烯行業(yè)的聚合反應(yīng)中止劑。一氧化氮更多 +
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如何去除四氟化碳？降低溫室效應(yīng)
四氟化碳分子式CF4，常溫下為無(wú)色氣體，四氟化碳只能微溶于水；對(duì)熱非常穩(wěn)定，化學(xué)性質(zhì)比四氯化碳更不活潑。分子呈正四面體結(jié)構(gòu)。四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，其高純四氟化碳高純氣配高純氧氣的混合體。但此外四氟化碳也是一種造成溫室效應(yīng)的氣體。它非常穩(wěn)定，可以長(zhǎng)時(shí)間停留在大氣層中，是一種非常強(qiáng)大的溫室氣體。它在大氣中的壽命約為50,000年，全球增溫(全球暖化)系數(shù)是6,500（二氧化碳的系數(shù)是1），所以去除生產(chǎn)過(guò)程中不必要的四氟化碳?xì)怏w非常重要。 不同添加氣體對(duì)微波電漿更多 +
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甲烷對(duì)人體有哪些危害嗎？
甲烷在自然界分布很廣,是天然氣、沼氣、油田氣及煤礦坑道氣的主要成分.它可用作燃料及制造氫氣、碳黑、一氧化碳、乙炔、氫氰酸及甲醛等物質(zhì)的原料.化學(xué)符號(hào)為CH?.甲烷對(duì)哺乳動(dòng)物引起DNA損傷,對(duì)人淋巴姐妹染色體發(fā)生變化；三氯甲烷能引起肌肉、骨骼、腸胃系統(tǒng)及顱面部發(fā)育不正常；三氯甲烷有高度的胎毒,但是顯然還不是強(qiáng)的致畸物質(zhì). 對(duì)環(huán)境的影響健康危害。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊：，或者撥打我們的熱線電話：400-6277-838 侵入途徑：吸入. 健康危害：甲烷對(duì)人基本無(wú)毒,但濃度過(guò)高時(shí),更多 +
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工業(yè)氣體用量最多的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)有煉鋼和煉鐵
工業(yè)氣體是指氧、氮、氬、氖、氦、氪、氙、氫、二氧化碳、乙炔、天然氣等。由于這些氣體具有固有的物理和化學(xué)特性，因此在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中占有舉足輕重的地位，推廣應(yīng)用速度非常快，幾乎滲透到各行各業(yè)。 工業(yè)氣體用量最多的傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)有：煉鋼、煉鐵、有色金屬冶煉、化肥生產(chǎn)、乙稀、丙稀、聚氯乙稀、人造纖維、合成纖維、硅膠橡制品、電纜和合成革等石油化學(xué)工業(yè)、機(jī)械工業(yè)中的焊接，金屬熱處理、氦扦漏等，浮法玻璃生產(chǎn)等。由于這些傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)在近幾年發(fā)展迅速，工業(yè)氣體的用量也達(dá)到高峰。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊：，或者撥打我們的熱線電話：400-627更多 +
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二氧化氮為非酸性氧化物
顏色氣味狀態(tài):通常情況下為有強(qiáng)烈刺激性氣味的黃綠色的有毒氣體。2.密度:氯氣密度是空氣密度的2.5倍，標(biāo)況下ρ=3.21kg/m³3.易液化。熔沸點(diǎn)較低，常溫常壓下，熔點(diǎn)為-101.00°C，沸點(diǎn)-34.05°C，常溫下把氯氣加壓至600~700kPa或在常壓下冷卻到-34°C都可以使其變成液氯，液氯即Cl2，液氯是一種油狀的液體。其與氯氣物理性質(zhì)不同，但化學(xué)性質(zhì)基本相同。4.溶解性:可溶于水，且易溶于有機(jī)溶劑(例如:四氯化碳)，難溶于飽和食鹽水。更多更多 +
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丁烷氣體用途及注意事項(xiàng)
正丁烷又稱丁烷，相對(duì)密度0.6012(0℃)、0.5788。熔點(diǎn)-138.4℃。沸點(diǎn)-0.5℃。臨界溫度 152.01℃。臨界壓力3.797MPa。閃點(diǎn)-60℃。折射率1.3259(液體，在飽和壓力下)、1.0013(氣體，在常壓下)。溶于乙醇(17℃及10.332×103Pa時(shí)， 18ml/1ml)、乙醚(25ml/1ml)、氯仿(30ml/1ml)，微溶于水(0.5ml/1ml)。與空氣形成爆炸混合物，爆炸極限1.6%～8.5%(體積分?jǐn)?shù))。更多信息請(qǐng)點(diǎn)擊：，或者撥打我們的熱更多 +
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