-
2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發展現狀
隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展,特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,從應用領域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。 近年來,隨著下游應用領域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據不完全統計,我國已有的特種氣體達260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(吸附、膜分離)、混配技術和提純技術的發展,更多的特種氣體產品將逐步走向市場。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
-
國內半導體、特種氣體產業逆勢擴張!
世界半導體產業協會(SEMI)近日數據顯現,2018年第三季度,我國大陸半導體設備銷售額達39.8億美元,同比大增106%,季度銷售額初次超越韓國。該協會猜測,2019年,我國大陸半導體設備全年銷售額也有望超越韓國,或將成為全球最大的半導體商場。 今年以來,全球半導體產業處于景氣下行周期。SEMI數據顯現,2018年、2019年,全球半導體設備銷售額增速將從2017年的37%放緩至10.8%和7.7%,設備投入增速呈現一定下滑。可是,我國大陸市場設備銷售額在2018年和2019年依然有望分別實現44%及46%的高更多 +
-
四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業重要工藝,蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環保電子氣體,電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡直為0,而且能完結納米級溝槽的加工,成為電子工業領域內一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發團隊提出自主開發新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
-
第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇盛大開幕,特種氣體迎來新機遇!
11月14日,光電核心領域全產業鏈創新產品的第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇(簡稱光博會)在中國光谷科技會展中心盛大開幕。展會為期三天,首日觀展人數超萬人。 大會由工業和信息化部、科技部、國家知識產權局、中國科學院、中國貿促會、湖北省人民政府聯合主辦,武漢市政府、武漢東湖高新區等單位共同承辦。 本屆光博會以“光聯萬物,智引未來”為主題,以“聚全球資源,建世界光谷”為目標,共規劃6個展館,更多 +
-
半導體工業中的超高純特種氣體
超凈高純特種氣體為主要用于制備半導體器件、化合物半導體、激光器、光導纖維、太陽能電池等的高純度氣體,一般純度在99.999%(5N)以上。其中55%的市場份額是背景氣體(如氧、氮、氬、氫、CO2等);其他45%為特種氣體。 超凈高純特種氣體包括純氣以及二元、多元混合氣。純氣己發展至100余種:混合氣己有17類、330多個品種,大約1000多種規格。超凈高純特種氣體配套性很強,根據不同用途分別有電子級、載氣級、發光二極管級、光導纖維級、VLSI級(超大規模集成電路級)等。最近為適應兆位集成電路的生產更多 +
-
中秋、國慶雙節臨近,乙炔市場小幅上漲
隨著新技術、新成果的不斷涌現,近幾年特種氣體應用范圍越來越廣。在國民經濟高速發展及下游行業的強勁需求下,我國特種氣體行業進入快速發展階段。然隨著產能的不斷釋放,近期原材料電石、無水氫氟酸的變化,也牽動著下游乙炔的神經。 電石價格達到6年來最高水平,乙炔局部有上漲意向 據了解,電石價格進入8月份后開始上漲,至今1個多月時間上漲價格已超越去年價格最高點。目前電石價格達到了6年以來的最高水平,2018年至今同比去年同期增幅15.6%。此次價格出現連續上漲的主要原因是電石更多 +
-
氣瓶充裝質量管理要求及應急措施
特種氣體充裝前對鋼瓶檢查的重要意義 氣體在充裝前必須對氣瓶逐只進行認真的檢查,這是為了防止氣瓶在充裝過程中或是在運輸、貯存、使用中,由于混裝、錯裝、換裝、報廢或是超期服役等原因而發生事故。 質量管理的要求 1、鋼印標記、顏色標記不符合規定,對瓶內介 質未確認的 2、附件損壞、不全或不符合規定的 3、瓶內無剩余壓力的 4、超過檢驗期限的 5、經外觀檢查,存在明顯損傷,需進地步檢驗的 &nbs更多 +
-
蝕刻技術中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬復合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復制掩膜圖形。刻蝕分為濕法蝕更多 +
-
顯示屏制造中特種氣體的應用
顯示屏是有源矩陣薄膜晶體管(TFT),在二世紀九十年代開始投入民用,到如今已經是我們生活中不可或缺的組成部分,它在我們生活中已經是隨處可見了,大家天天離不開的手機、電視,馬路上的廣告、標牌等等。 顯示屏的制造與半導體器件的制造有許多相似的地方,不僅生產工藝步驟十分相似,而且在制造過程中都需要使用大量的氣體,使用的氣體類型也大都相同。 今天紐小編就和大家一起來了解一下特種氣體在顯示屏生產中的應用。 顯示屏生產中用到氣體主要分為量大類:電子特種氣體和更多 +