-
氙氣在芯片制造業中前途不可估量!
氙氣在電子芯片制造業中的最新使用 氙氣作為稀有氣體,目前國內產量較低。跟著科技的開展,氙氣的使用領域越來越廣泛,首要使用于電光源、醫療、科研、航空航天等。 近年來,氙氣就被廣泛使用于電子芯片制造業,這也是目前氙需求增加及對氙投機生意的最重要原因。多家大型芯片制造商正使用氙氣等離子蝕刻,首要用于微電子機械系統( MEMS )的制造。MEMS 設 備可將微電子和微機械集成為一個全體,能在一塊芯片上制作更復雜及成效更強的電路。這種技術從根本上把電腦芯片(處理數據)和傳感器(搜集數據)結合到一個元件上,能夠批量出產,這更多 +
-
一個氙氣燈的發展歷程
氙氣燈是指內部充滿包括氙氣在內的惰性氣體混合體,其發光原理是通過啟動器和電子鎮流器,將電壓提高至23000V以上高壓擊穿氙氣從而導致氙氣在兩個電極之間形成電弧并發光。 說起氙氣燈,它的起源可以追溯到20世紀30年代,美國工程師艾哲頓發明了氙氣閃光燈。20世紀40年代初,聯邦德國奧斯蘭公司發展研究中心實驗室率先研究了稀有氣體短弧光源的特性,經過多年的研制和改進,于1951年正式向市場推出超高壓短弧氙氣燈。1954年,在聯邦德國科隆世界照明和電影博覽會上,專業制造光學系統、工業測量儀器和醫療設備的蔡司更多 +
-
氦氣質譜檢漏儀粗漏與細漏檢測方法
為了實現對電子元器件更高密封嚴密性的檢測,自21世紀開端的幾年,國際上開端出現新型的堆集氦氣質譜檢漏儀。這種儀器采用了深冷泵和四極質譜倍增器。深冷泵內腔溫度可降至20K(-253℃),能夠有用吸收氫氦以外的各種氣體。 使用這種儀器,能夠進行粗漏和細漏的組合檢測。粗漏檢測以氦氣為示蹤氣體,預充氦或壓氦的粗漏被檢件,在空氣中經一段時間的貯存候檢,內部的氦氣分氣壓PHe應等于或高于正??諝庵械暮夥謿鈮篜He0。設粗漏檢測拒收的等效規范漏率判據為L0,按分子流氣體交流(走漏)形式,在真空下檢測的粗漏氦氣丈量漏率判據更多 +
-
2019年電子氣體、標準氣體、高純氣體的發展現狀
隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測,特別是微電子技術的發展,特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類,從應用領域劃分,主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。 近年來,隨著下游應用領域的逐步擴展,特種氣體的品種也與日俱增,據不完全統計,我國已有的特種氣體達260余種。 隨著非低溫氣體分離技術(吸附、膜分離)、混配技術和提純技術的發展,更多的特種氣體產品將逐步走向市場。 電子氣體主要分為氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等更多 +
-
六氟化硫造影劑的優點
六氟化硫是一種無色、無臭、無毒、不燃的惰性氣體,SF6是強電負性氣體,它的分子極易吸附自由電子而形成質量大的負離子,削弱氣體中碰撞電離過程,因此其電氣絕緣強度很高,在均勻電場中約為空氣絕緣強度的2.5倍。SF6氣體在t≈2000K時出現熱分解高峰,因此在交流電弧電流過零時,SF6對弧道的冷卻作用比空氣強得多,其滅弧能力約為空氣的100倍。由于SF6氣體具有優良的滅弧性能和絕緣性能以及良好的化學穩定性,它從20世紀50年代末開始被用作高壓斷路器的滅弧介質。在超高壓和特高壓斷路器中,SF6作為滅弧介質,已取更多 +
-
四氟化碳、三氟甲烷、六氟丁二烯電子行業中重要的蝕刻氣體
蝕刻是電子行業重要工藝,蝕刻所用氣體稱蝕刻氣體, 通常多為氟化物氣體, 例如四氟化碳、全氟丁二烯、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。 作為新一代環保電子氣體,電子級C4F6成為集成電路IC芯片等制造時必不可少的刻蝕氣體,其GWP值簡直為0,而且能完結納米級溝槽的加工,成為電子工業領域內一把神奇的“刻刀”,比γ刀還γ! 2015年,浙化院特種氣體研發團隊提出自主開發新一代含氟電子氣體C4F6的提純技能。 今天紐小編就帶大家一起看看C4F6是怎樣更多 +
-
電子氣體中金屬雜質的分析方法綜述
一、原子吸收光譜(AAS) 原子吸收光譜法是基于待測元素的基態原子蒸汽對其特征譜線的吸收,由譜線的特征性和信號強度對待測元素進行定性和定量分析的一種常用分析方法。該分析方法主要有四種類型:火焰原子吸收光譜分析法、石墨爐原子吸收光譜分析法、蒸汽發生原子吸收光譜分析法和流動注射原子吸收光譜分析法。其中,以前兩種分析方法最為常用。 原子吸收光譜法可以測定元素周期表中的大多數金屬和非金屬元素,火焰原子吸收法對大多數金屬元素的相對靈敏度為10−10~10&min更多 +
-
第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇盛大開幕,特種氣體迎來新機遇!
11月14日,光電核心領域全產業鏈創新產品的第十五屆“中國光谷”國際光電子博覽會暨論壇(簡稱光博會)在中國光谷科技會展中心盛大開幕。展會為期三天,首日觀展人數超萬人。 大會由工業和信息化部、科技部、國家知識產權局、中國科學院、中國貿促會、湖北省人民政府聯合主辦,武漢市政府、武漢東湖高新區等單位共同承辦。 本屆光博會以“光聯萬物,智引未來”為主題,以“聚全球資源,建世界光谷”為目標,共規劃6個展館,更多 +
-
臺大疑似砷化氫外泄,砷化氫泄漏究竟該怎么辦呢?
據臺灣“中時電子報”報道,11月5日上午10時許,國立臺灣大學電機系二館驚傳疑似砷化氫的不明氣體外泄,由于適逢期中考,校方緊急疏散師生,11人預防性送到醫院檢查。 臺灣網友指出,氣體是從4樓外泄,出事的實驗室是做半導體的,這種氣體廣泛用在制造GaAs這種半導體上面,其本身是無色無臭氣體,易燃且極毒。報道說,詳細情況及出事原因到底為何,仍有待進一步了解。 在半導體中應用,砷烷用于半導體工業中外延硅的n型摻雜;硅中n型擴散;離子注入;生長砷化鎵(GaAs)、磷更多 +
-
電子氣體國產化,為何難以實現?
廣義的“電子氣體”指電子工業生產中使用的氣體,是重要原材料之一;狹義的“電子氣體”特指半導體行業用的氣體。電子氣體在電子產品制程工藝中廣泛應用于薄膜、蝕刻、摻雜等工藝,被稱為半導體、平面顯示等材料的“糧食”和“源”。 在硅片制造廠,一個硅片需要兩到三個月的工藝流程,完成450道或更多的工藝步驟才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序,需要的高純電子化學氣體及更多 +