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蝕刻技術(shù)中特種氣體的作用
硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙烷/氧氣、三氟化氮等。但由于其各向同性,選擇性較差,因此改進(jìn)后的蝕刻氣體通常包括氯基(Cl2)和溴基(Br2、HBr)氣體。反應(yīng)后的生成物包括四氟化硅、四氯硅烷和SiBr4。鋁和金屬?gòu)?fù)合層的蝕刻通常采用氯基氣體,如CCl4、Cl2、BCl3等。產(chǎn)物主要包括AlCl3等 蝕刻是采用化學(xué)和物理方法,有選擇地從硅片表面去除不需要的材料的過(guò)程。刻蝕的目的是在涂膠的硅片上正確地復(fù)制掩膜圖形。刻蝕分為濕法蝕更多 +
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教你如何正確選擇減壓器
減壓器是使用氣體的必備配件,氣體減壓器通常與鋼瓶的連接使用,紐小編了解到很多客戶(hù)不知道應(yīng)該如何正確的挑選減壓器,認(rèn)為貴的就一定是對(duì)的!小編今天告訴你怎樣捂好自己的錢(qián)包喲~ 一般來(lái)說(shuō),減壓器的材質(zhì)有黃銅的和不銹鋼的之分,而不銹鋼的減壓器主要用于腐蝕性氣體,如氨氣這樣的氣體,而氮?dú)狻鍤膺@類(lèi)無(wú)毒、無(wú)腐蝕性的穩(wěn)定型氣體,在選購(gòu)減壓器的時(shí)候一般選購(gòu)黃銅的材質(zhì)的就可以了。 除此外,減壓器還要根據(jù)使用設(shè)備所需要的壓力來(lái)判斷,就是減壓器上的壓力表,進(jìn)氣壓力和出氣壓力都必須符合儀更多 +
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六氟化硫的絕緣效果怎么樣?
在電氣設(shè)備中,介質(zhì)的傳熱特性對(duì)設(shè)備的運(yùn)行溫度和效率具有很大的影響。在某些情況下,傳熱能力是選擇某種絕緣介質(zhì)時(shí)考慮的決定因素。作為氣體介質(zhì),其傳熱特性主要取決于它的熱導(dǎo)率、比熱容和粘度。六氟化硫良好的傳熱性質(zhì)決定了它作為絕緣氣體的霸主地位。 經(jīng)典的熱傳導(dǎo)是考慮氣體的分子熱擴(kuò)散運(yùn)動(dòng),使高溫區(qū)域的分子攜帶較高的內(nèi)能,遷移至溫度較低的區(qū)域,造成熱量在空間的傳遞。這里的分子運(yùn)動(dòng)指的是熱運(yùn)動(dòng),而不是宏觀的相對(duì)移動(dòng)。只要空間存在著溫差,就存更多 +
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廢鋁制氫技術(shù)了解一下!
俄羅斯莫斯科鋼鐵學(xué)院研發(fā)出鋁及有色金屬?gòu)U料化學(xué)制氫技術(shù)及實(shí)驗(yàn)裝置,所制備的氫可用于車(chē)載供電系統(tǒng)及固定式小型電力裝置。 科研團(tuán)隊(duì)采用“鋁—水”系統(tǒng)以廢鋁作為反應(yīng)物研發(fā)出化學(xué)制氫的整套技術(shù),包括,原材料的化驗(yàn)分析、廢鋁粉處理方案、氧化過(guò)程工藝參數(shù)的選擇、所制備固體金屬反應(yīng)物儲(chǔ)存和運(yùn)輸要求等。已研制出廢鋁制氫氧化劑,以及制氫實(shí)驗(yàn)裝置。裝置適用于處理廢鋁及其他水解金屬以制備氫燃料,具有可靠的防爆性。由于金屬鋁表面易形成氧化保護(hù)膜,隔絕氧化劑與金屬鋁的接觸更多 +
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六氟乙烷的制備方法
六氟乙烷又稱(chēng)全氟乙烷,是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物,是鹵代烴(化學(xué)式:C2F6),亦是烴類(lèi)化合物乙烷所對(duì)應(yīng)的全氟化合物,是一種不易燃的氣體,難溶于水,微溶于醇。 六氟乙烷常用于半導(dǎo)體的生產(chǎn),主要用于一種具多功能的蝕刻技術(shù),它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對(duì)其金屬基質(zhì)的選擇性蝕刻。叧外,它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷還可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A(六氟乙烷占61%)及R508B(六氟乙烷占54%)。 六氟乙烷的制備方法主要有一下幾種:更多 +
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二氧化碳“變身”高能量密度液體醇燃料
中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)(以下簡(jiǎn)稱(chēng)中國(guó)科大)的俞書(shū)宏教授課題組與多倫多大學(xué)科學(xué)家合作,首次讓二氧化碳“變身”多碳醇燃料成為現(xiàn)實(shí),并為高能量密度液體醇燃料的選擇性制備提供了新的設(shè)計(jì)思路。 乙醇和丙醇作為可再生的運(yùn)輸燃料,由于其高能量密度等特點(diǎn),廣受關(guān)注。然而以二氧化碳電化學(xué)還原制備多碳醇充滿(mǎn)挑戰(zhàn)。電催化還原二氧化碳制備碳基化學(xué)原料,是解決可再生電能長(zhǎng)期存儲(chǔ)問(wèn)題的有效手段。 中國(guó)科大的科學(xué)家們?cè)陔姶呋€原二氧化碳研究中,發(fā)現(xiàn)一種特殊的納米結(jié)更多 +
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壓縮空氣—壓縮空氣儲(chǔ)能技術(shù)
“壓縮空氣儲(chǔ)能”是一種基于燃?xì)廨啓C(jī)的儲(chǔ)能技術(shù),技術(shù)已經(jīng)非常成熟,可以實(shí)現(xiàn)大規(guī)模商業(yè)化應(yīng)用。“壓縮空氣儲(chǔ)能”容量大、工作時(shí)間長(zhǎng)、經(jīng)濟(jì)性能好、充放電循環(huán)多。在我國(guó)有許多不具備建設(shè)抽水蓄能電站自然條件的地區(qū),尤其遠(yuǎn)離消費(fèi)中心的大型風(fēng)電場(chǎng)和太陽(yáng)能發(fā)電場(chǎng),迫切需要研究開(kāi)發(fā)另外一種能夠大規(guī)模長(zhǎng)時(shí)間使用的儲(chǔ)能技術(shù)。這時(shí)候“壓縮空氣儲(chǔ)能”的優(yōu)勢(shì)就非常明顯,它可以彌補(bǔ)抽水蓄能的先天不足,將是有效解決我國(guó)大規(guī)模儲(chǔ)能問(wèn)題的重要選擇。更多 +
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氣相色譜分析中如何選擇柱溫
選擇柱溫的原則是紀(jì)要保證樣品組分完全分離,又要保證樣品所有組分都不會(huì)在色譜柱內(nèi)冷凝,且峰形較好,同時(shí)分析時(shí)間越短越好。確定柱溫,主要考慮色譜柱固定液的使用溫度、色譜柱類(lèi)型、樣品組分的復(fù)雜程度、色譜柱升溫方式以及汽化溫度等。 首先,要考慮氣相色譜儀色譜柱固定的最高使用溫度,選擇的柱溫至少要比固定液最高使用溫度低40℃左右。當(dāng)固定液相同時(shí),填充柱和毛細(xì)血管柱相比較,毛細(xì)血管柱的最高使用溫度比填充柱低,至少要比固定液的最高使用溫度低60左右。如果使用的固定液有凝固點(diǎn),更多 +
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炎癥可用一氧化碳治療?
人類(lèi)在各種生活活動(dòng)中,都會(huì)弄傷自體,那么就造成了很多炎癥的存在,以前我們?cè)谥委熝装Y的時(shí)候,大多選擇了抗生素的治療,根據(jù)科學(xué)家的研究發(fā)現(xiàn),少量的CO氣體也有助于炎癥的恢復(fù)。 很多人都知道,一氧化碳?xì)怏w是屬于有毒性氣體,吸入過(guò)量可導(dǎo)致人體死亡,但根據(jù)相關(guān)的數(shù)據(jù)報(bào)告顯示稱(chēng),CO氣體有助于消炎的作用。德國(guó)科學(xué)家創(chuàng)新的一個(gè)治療方法,用光動(dòng)力學(xué)反應(yīng)選擇性地破壞病變組織技術(shù),即將光敏劑注射入人體或涂抹在皮膚上,并用特定波長(zhǎng)的光照射病變部位,光敏劑會(huì)產(chǎn)生有毒物質(zhì)殺死病變組織。德國(guó)耶拿大學(xué)研究人員發(fā)現(xiàn),更多 +
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淺談街邊氣球是什么氣體充的?
很多客戶(hù)問(wèn),街邊氣球是什么氣體充的?是氦氣?還是氫氣呢?氦氣的價(jià)格那么高會(huì)造成氣球的成本很高,氣球的價(jià)格卻很低,是什么原因呢?今天紐瑞德小編就帶大家一起扒一下街邊氣球的秘密。 首先,氦氣充氣球沒(méi)有危險(xiǎn)性是毋庸置疑的,由于氦氣是惰性氣體,充入的氣球沒(méi)有危險(xiǎn)性,但是氦氣的成本很高,從而很多人放棄用氦氣充氣球的想法。 那么很多人都用氫氣,高純的氫氣充入氣球價(jià)格也并不便宜,高純的氫氣還有一定的危險(xiǎn)性。 那么很多人就選擇用電解水制取氫氣,下面介紹一下如何用電解水制更多 +
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