在電子器件生產工藝中，廣泛使用了各種高純氣體。按工藝中高純度氣體的不同用處，可將其分為維護氣、反響氣和載氣。
用作維護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣。在國內為獲取氫氣和氨氣，為取得較高純度的氫氣，一般都選用電解純水的辦法制取。這種辦法需用大量電能來電解水，一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2，致使成本很高。
為減少電能消耗，降低成本，都在研發和使用各種混合氣。其間，以使用氮－氫混合氣為最多。國外多選用液態氫和液態氮汽化法取得氮氫混合氣， 也有選用液氮分解法取得氮氫混合氣的。
用液氫和液氮汽化來取得氮氧混合氣的辦法，因為選用了液化后再汽化的工藝，故其投資和成本均較高． 國外，因為生產的專業化程度高，使用單位多選用這種辦法取得混合氣。 國內若從專業鋁合金門窗廠或大型聯合企業的副產物取得液氫和液氮，其成本要比電解氫和“空分”氮取得的氫氣與氯氣高出幾倍。由液氨分解取得的氮氧混合氣，因為液氮來源不同，大多數質量較差，其間仍含有未分解的氨、水和氧等雜質。此外，液氮多來源于化肥廠，現在，供應上較嚴重，故成本也較高。
氮氫混合氣不僅可在生產電子器件時替代氧氣用作維護氣，還可廣泛用于冶金、化工、機械等行業。 一旦廣泛推廣使用，必將發生可觀的經濟效益和社會效益。
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