電子特氣是電子工業(yè)的關鍵原料，是名副其實的電子工業(yè)“血液”，貫穿著半導體

各步工藝制程。它的純度和潔凈度直接會影響到光電子、微電子元器件的質量、

性能、集成度、特定技術指標和成品率，并從根本上制約著電路和器件的精確

性和準確性。

狹義的“電子氣體”特指電子半導體行業(yè)用的特種氣體，據(jù)統(tǒng)計，目前常用的電

子氣體純氣有60多種，混合氣80多種，按其門類可分為純氣，高純氣和半導體

特殊材料氣體三大類。主要應用于前端晶圓制造中的化學氣相沉積、外延生長、

離子注入、光刻、刻蝕、摻雜等諸多環(huán)節(jié)。電子氣體對于半導體集成電路芯片

的質量和性能具有重要意義。

隨著半導體集成電路技術的發(fā)展，對電子氣體的純度和質量要求越來越高，電

子氣體目前發(fā)展目標是增加品種、增加產(chǎn)量、提高國產(chǎn)化率，并向完成 對特氣

生產(chǎn)及應用的全套技術開發(fā)的目標努力，技術包括：高危、易燃易爆、腐蝕性、

劇毒氣體純化、監(jiān)測、充裝、輸送、貯存技術，以及安全、環(huán)保技術、現(xiàn)場配

氣技術、回收與再利用技術等。

半導體電子特氣行業(yè)上個月較高的技術壁壘。半導體電子特種氣體在生產(chǎn)過程

中涉及合成、純化、混合氣配制、充裝、分析檢測、氣瓶處理等多項工藝技術，

每一步均有嚴格的技術參數(shù)要求和質量控制措施。

電子特種氣體的合格性十分的重要，特氣若不合格輕則導致產(chǎn)品嚴重缺陷，重

則導致整條生產(chǎn)線被污染及至全面癱瘓，其純度要求極高，純化、雜質檢測、

儲運技術面臨全方位考驗。因此，集成電路技能快速發(fā)展，對電子氣體的種類、

數(shù)量、質量、安全性以及安穩(wěn)性等方面均提出了更高的要求。