超高純氮氣等超高純氣體一般用在集成電路、半導體和電真空器件制造中用作保護氣和運

載氣，化學氣相淀積時的載氣，液體擴散源的攜帶氣，在高溫擴散爐中用作器件的保護氣。

超高純氮氣在外延、光刻、清洗和蒸發等工序中，作為置換、干燥、貯存和輸送用氣體。

顯像管制造中要求氮氣純度為99.99%以上。在航天技術中，液氫加注系統必須先用超高

純氮氣置換，再用超高純氮氣置換。

對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴重影響氣體的質量，因此氣體貯存和運輸過程中

的潔凈和高度密封性特別重要。超純氣體主要采用高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器貯存和

運輸。

高壓鋼瓶堅實耐用，運輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩定性較差；低溫液化

氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。

超高純氮氣的儲存是一項細致而嚴格的工作，需要多方面考慮，從選擇合適的儲存器到

嚴格監控儲存過程中的各環節，全方位保障氮氣的純度和質量，從而確保其在集成電路、

半導體和電真空器件制造領域的廣泛應用。