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國內高純硅烷灌裝流程

文章出處：責任編輯：人氣：-發表時間：2018-07-26 10:26:00【大 中 小】
 
高純硅烷灌裝前，首先利用高純氮氣、氦氣對系統進行高壓檢漏，真空置換。
 
然后分析氣源，氣瓶是否合格，待一切準備就緒后，生產儲罐輸送來的高純硅烷氣經壓縮機增壓后通過灌裝控制面板充入已準備就緒的容器中，完成灌裝后，系統自動切斷。隨后更換下一批容器進行灌裝。
 
如果灌裝時間間隔較長，灌裝完成后，應對系統進行減壓、置換，不可使系統中長期存有硅烷。
 
硅烷灌裝示意流程見下圖
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