1、
SF6雖然無毒，但密度大，不易稀釋和擴散，是一種窒息性物質，在故障泄漏時容易造成工作人員缺氧，中毒窒息。
2、SF6氣體在電場中產生電暈放電時會分解出來SOF2（氟化亞硫酰）、SO2F2（氟化硫酰）、S2F10（十氟化二硫）、SO2（二氧硫）、S2F2（氟化硫）、HF（氫氟酸）等近十種氣體。這些氟、硫化物氣體都有毒性，而且S2F10還具有劇毒性和腐蝕性。如對鋁合金、瓷絕緣子、玻璃環(huán)氧樹脂等絕緣材料，能損壞它們的結構；對人體及呼吸系統(tǒng)有強列的刺激和毒害作用。SF6 氣體的這些缺點，構成了SF6電氣設備在安全防護方面的主要問題。
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