在高壓電氣設備中，六氟化硫以其優異的滅弧絕緣性能被廣泛用作滅弧絕緣介質。高壓電氣設備因不同絕緣缺陷引起的局部放電會產生分解復合氣體。分解產物的成分、含量和收率也不同，通過對分解產物成分的分析可以判斷故障類型。通過對設備中SF6氣體分解氣體和化學成分的檢測，可以確定絕緣缺陷的類型、性質、范圍和發展趨勢。

正常運行的電氣設備內部溫度不超過80℃，不存在SF6等絕緣材料的分解產物，但當設備局部放電、過熱嚴重時，故障區域內的固體絕緣材料和六氟化硫氣體會分解。

如果對所有產品進行測試，雖然可以更準確地確定內部故障的位置，但除二氧化硫、硫化氫、四氟化碳和一氧化碳外，上述物質毒性很強，設備濃度很低且不穩定。四氟化硫和二氟化硫的含量稍高，在六氟化硫氣體中用水快速水解生成穩定的二氧化硫和氟化氫。

因此，氣室中二氧化硫的含量不僅是SF6和固體絕緣材料分解的直接結果，而且是二氧化硫水解的結果。固體絕緣材料主要有環氧樹脂、聚四氟乙烯、聚丙烯、聚酯乙烯、聚酰胺樹脂、絕緣紙和涂料。當失效點溫度達到200℃時，聚乙烯、絕緣紙和油漆開始分解，主要產生二氧化碳、一氧化碳和低分子量碳氫化合物。

當失效點溫度達到500℃時，六氟化硫等固體絕緣材料在黎明時開始分解，主要產生二氧化硫、硫化氫、氟化硫、四氟化碳、氟化氫、二氧化碳、一氧化碳和低分子量碳氫化合物。