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陸地氦最常由鈾 235、釷和鈾 238 及其不穩定的衰變產物衰變形成。氣體慢慢地積聚在地殼中。數百萬年來，一噸花崗巖中含有 10 克釷和 2 克鈾，只產生 0.5 立方厘米（或 0.09 毫克）的元素。只有少數富含釷和鈾的礦物可以擁有高含量的氦。此外，大部分礦物經過風化、重結晶等過程，導致氦逸出。釋放的氣泡可以溶解在地下水中或通過礦物中的裂縫和孔隙逃逸到大氣中。
