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氣相色譜法測定高純四氟化碳中三氟化氮雜質的方法
四氟化碳這種含氟有機化合物作為蝕刻二氧化硅和氧化硅這樣的介質材料已成熟運用多年,也是目前微電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體。其混合氣體即四氟化碳和氧氣的混合、與氫的混合均在硅系列、薄膜蝕刻領域廣泛應用。同時在低溫下可作為低溫流體用,也在制冷、體絕緣、氟化劑、表面處理劑和激光氣體泄露檢驗劑有一定的應用空間。四氟化碳的廣泛應用,其產品質量要求也相應的較為明確、規范。目前行業內較為成熟的分析方法主要檢測四氟化碳中的氧(O2)、氮(N2)、一氧化碳(CO)、二氧化碳(CO2)、六氟化硫(SF6)、水(H2O)更多 +
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什么是揮發性有機物質?
揮發性有機物,常用VOCs表示,它是Volatile Organic Compounds三個詞第一個字母的縮寫,總揮發性有機物有時也用TVOC來表示。按照世界衛生組織的定義沸點在50℃-250℃的化合物,室溫下飽和蒸汽壓超過133.32Pa,在常溫下以蒸汽形式存在于空氣中的一類有機物。美國環境保護局對其的定義是除CO、CO2、H2CO3、金屬碳化物、金屬碳酸鹽和碳酸銨外,任何參加大氣光化學反應的含碳化合物。 揮發性有機物是指在室溫下飽和蒸氣壓大于70.91Pa,常溫下沸點小更多 +
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不同標準氣體對裝置容器材質要求
要保證標準氣體的穩定性,必須考慮氣瓶材質對所配氣體的影響,不能對氣體產生吸附、氧化等,在有效期限內量值必須穩定可靠,標準氣的有效期一般為一年。大多數常量標準氣體可采用鋼質氣瓶充裝,但微量CO、CO2、NO、SO2等微量標準氣體要使用鋁合金氣瓶充裝,對于含有SO2 、H2S 、NO 、NO2、CL2、NH3、PH3等腐蝕性成份且含量低于10ppm的標準氣體,要用內涂層鋼瓶充裝且有效期為3-6個月。對同時含有CO、CO2的標準氣體和含有HF、HCl、CHCl3等鹵代烴的標準氣體也要使用鋁合金瓶。 &nb更多 +
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水變氫氣作能源 能否成功?
水,化學分子式H2O,氫和氧的結合。從水中分離氫并非難事。然而,氫氣的收集和儲存一直是個技術難點,抑制了光解水制氫的實際應用。日前,中國科大的學者們破解了這一難題,該校微尺度物質科學國家實驗室江俊教授、趙瑾教授合作,利用第一性原理計算,提出了首個光解水制氫儲氫一體化的材料體系設計,該方案具有低成本、通用性、安全儲氫的優點。更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 光解水制氫發展一度停滯 早在20世紀70年代更多 +
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全球首套甲烷二氧化碳重整裝置投運
二氧化碳與甲烷是典型的溫室氣體,又是重要的含碳資源,科學界一直在探索如何將二氧化碳回收并轉化。近日,全球首套萬方級甲烷二氧化碳自熱重整制合成氣裝置在山西潞安集團煤制油基地實現穩定運行,成功實現上述目標。 中國科學院發布消息稱,甲烷二氧化碳重整制合成氣技術源于中國科學院上海高等研究院、山西潞安礦業(集團)有限責任公司和荷蘭殼牌石油工業公司聯合啟動的甲烷二氧化碳重整項目。 將甲烷和二氧化碳作為碳源,可以在一定條件下轉化為合成氣(CO和H2),即稱之為甲烷二氧化碳更多 +
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驚! 水分子居然能變成氫氣
水,化學分子式H2O,氫和氧的結合。從水中分離氫并非難事。然而,氫氣的收集和儲存一直是個技術難點,抑制了光解水制氫的實際應用。日前,中國科大的學者們破解了這一難題,該校微尺度物質科學國家實驗室江俊教授、趙瑾教授合作,利用第一性原理計算,提出了首個光解水制氫儲氫一體化的材料體系設計,該方案具有低成本、通用性、安全儲氫的優點。更多信息請點擊:,或者撥打我們的熱線電話:400-6277-838 光解水制氫發展一度停滯 早在20世紀70年代更多 +
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標準氣體氣瓶的如何選擇
要保證標準氣體的穩定性,必須考慮氣瓶材質對所配氣體的影響,不能對氣體產生吸附、氧化等,在有效期限內量值必須穩定可靠,標準氣的有效期一般為一年。大多數常量標準氣體可采用鋼質氣瓶充裝,但微量CO、CO2、NO、SO2等微量標準氣體要使用鋁合金氣瓶充裝,對于含有SO2 、H2S 、NO 、NO2、CL2、NH3、PH3等腐蝕性成份且含量低于10ppm的標準氣體,要用內涂層鋼瓶充裝且有效期為3-6個月。對同時含有CO、CO2的標準氣體和含有HF、HCl、CHCl3等鹵代烴的標準氣體也要使用鋁合金瓶。更多信息請更多 +
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氫氮混合氣在電子器件中應用
在電子器件生產工藝中.廣泛使用了各種高純氣體.按工藝中高純度氣體的不同用途,可將其分為保護氣、反應氣和載氣. 用作保護氣的有氫氣、氮氣、氧氣及其混合氣.在國內為獲取氫氣和氨氣,為獲得較高純度的氫氣,一般都采用電解純水的方法制取.這種方法需用大量電能來電解水,一般達4.5~ 5.5kWh /Nm3H2,致使成本很高. 為減少電能消耗,降低成本,都在研制和應用各種混合氣.其中,以應用氮-氫混合氣為最多.國外多采用液態氫和液態氮汽化法獲得氮氫混更多 +