SF6因其具有良好的絕緣和滅弧性能，在電力行業中得到了廣泛應用。電氣設備在維護、檢修和退役時會產生大量的SF6廢氣，但由于SF6氣體化學性質穩定，極難分解，具有高溫室效應潛在值（GWP）而被列為溫室氣體行列，SF6廢氣的處理對保護環境具有長遠意義。等離子體法是利用等離子體中的有效活性物質與SF6發生反應，使其在短時間內發生分解，是目前比較流行的一種降解方式。介質阻擋放電（DBD）等離子體作為一種低溫等離子體，實驗設備和放電所需條件相對簡單，易于控制，操作安全可靠等一系列優點使其廣泛應用于處理揮發性有機物廢氣。